【公開日：2025.06.10】【最終更新日：2025.04.16】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
24NM5359
利用課題名 / Title
LiRuOのFIBによるTEM試料作製
利用した実施機関 / Support Institute
物質・材料研究機構 / NIMS
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
内部利用（ARIM事業参画者以外）/Internal Use (by non ARIM members)
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）計測・分析/Advanced Characterization（副 / Sub）-
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）マテリアルの高度循環のための技術/Advanced materials recycling technologies（副 / Sub）-
キーワード / Keywords
資源循環技術/ Resource circulation technology,電子顕微鏡/ Electronic microscope,電子回折/ Electron diffraction,集束イオンビーム/ Focused ion beam,電子分光/ Electron spectroscopy
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
木本 浩司
所属名 / Affiliation
物質・材料研究機構
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
木本浩司
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
長井拓郎,岡田徳行
利用形態 / Support Type
（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）-
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
機能性材料として注目されているLiRuO3の走査透過電子顕微鏡観察のためFIBによる試料加工および薄片化を行った。
実験 / Experimental
NX5000を用いて、保護層のカーボン膜を1.3μm蒸着したのち、FIB加工した。まず30kVで加工したのちピックアップした。Nanoメッシュに固定しさらに、30kVおよび5kVで加工をすすめた 。最終的にはアルゴンイオンミリングによるクリーニングも実施した。
結果と考察 / Results and Discussion
加速電圧変更し、さらにArでクリーニングすることにより、ダメージ層の少ない良好なTEM試料を得ることができた。全体を薄膜化するのではなく、部分的に薄膜化することにより、試料全体の湾曲等を押さえることができた。図１に示すように、TEM観察に適当な部分を複数個所薄膜化できている。
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
図１ FIB加工した試料のSEM像
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
観察にあたっては、研究業務員(張偉珠氏)が操作を担当し、技術的な注意事項については、岡田 徳行氏より指導を受けた。
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件