【公開日：2025.06.10】【最終更新日：2025.04.21】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
24NM5294
利用課題名 / Title
RISMEでの3D観察課題
利用した実施機関 / Support Institute
物質・材料研究機構 / NIMS
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
内部利用（ARIM事業参画者以外）/Internal Use (by non ARIM members)
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）計測・分析/Advanced Characterization（副 / Sub）-
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）マテリアルの高度循環のための技術/Advanced materials recycling technologies（副 / Sub）-
キーワード / Keywords
走査型電子顕微鏡/ Scanning electron microscopy, 集束イオンビーム（FIB）/ Focused ion beam
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
原 徹
所属名 / Affiliation
物質・材料研究機構
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
利用形態 / Support Type
（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）-
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
極限環境対応構造材料研究拠点において研究・開発を進めているMoSiBTiC合金の組織の正確な把握を目的として、FIB-SEMシリアルセクショニングによる3次元的組織観察を実施した。
実験 / Experimental
微細組織3次元マルチスケール解析装置を用いて、FIB-SEMシリアルセクショニング観察を行なった。組織単位が大きい合金なので、通常より大きな体積を観察する必要があったため、60ミクロン角の大きさのデータ取得にトライした。
結果と考察 / Results and Discussion
60ミクロン角という、GaのFIB-SEMとしては比較的大きな体積の観察には成功した。全体像を図１に示す。しかし測定中にカーテニングの影響が強く出てしまったため、体積率等の組織の定量解析を行うためには実験条件を再度検討する必要が生じている。さらに、組織単位が大きいため観察視野によって特徴量が変わる可能性がわかってきた。観察視野をランダムに多く取るか、より大体積の観察が必要なので、今後どのような方法で観察を進めるか検討中である。
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
図１．直交配置型FIB-SEMによるMoSiBTiC合金のシリアルセクショニング観察結果
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件