【公開日：2025.06.10】【最終更新日：2025.04.23】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
24NM5117
利用課題名 / Title
新規有機電子材料の創製
利用した実施機関 / Support Institute
物質・材料研究機構 / NIMS
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
内部利用（ARIM事業参画者以外）/Internal Use (by non ARIM members)
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）物質・材料合成プロセス/Molecule & Material Synthesis（副 / Sub）加工・デバイスプロセス/Nanofabrication
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）高度なデバイス機能の発現を可能とするマテリアル/Materials allowing high-level device functions to be performed（副 / Sub）量子・電子制御により革新的な機能を発現するマテリアル/Materials using quantum and electronic control to perform innovative functions
キーワード / Keywords
量子効果/ Quantum effect,ダイシング/ Dicing,リソグラフィ/ Lithography,エレクトロデバイス/ Electronic device,核磁気共鳴/ Nuclear magnetic resonance,赤外・可視・紫外分光/ Infrared/visible/ultraviolet spectroscopy
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
小林 由佳
所属名 / Affiliation
物質・材料研究機構
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
西尾直子,Maria Zymelka Agata,武田良彦
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
利用形態 / Support Type
（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）,技術代行/Technology Substitution
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
NM-001：NMR
NM-605：水蒸気プラズマ洗浄装置 [AQ-500 #1]
NM-011：フーリエ変換赤外分光光度計
NM-606：UVオゾンクリーナー [UV-1]
NM-660：マスクレス露光装置 [MLA150]
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
新規デバイス機能の発現を目指した分子性薄膜の創製を目的とした物質開発を行っており、その一環として、基板の作製や創製した有機薄膜の物性評価などを行った。
実験 / Experimental
SiO2薄膜をコーティングしたシリコン基板やガラス、サファイア基板などの様々な基板にアクアプラズマ処理を施して親水化したり、UVオゾンクリーナーを用いて表面洗浄を行った。また、これらの基板に有機薄膜を作製し、レーザー顕微鏡を用いて表面観察を行ったり、フーリエ変換赤外分光高度計を用いて吸収スペクトルを確認するなどの検証を行った。
結果と考察 / Results and Discussion
アクアプラズマ処理を施した各種基板は、未処理よりも水系インクを使用したインクジェット配線に適しており、スムーズな描画を行うことが可能だった。また、レーザー顕微鏡を用いた表面観察では、有機薄膜の表面はデバイス作製に適した十分にフラットな形状を有するのみならず、赤外領域における吸収や反射スペクトルをバルク材料と比較するために有効な知見が得られた。
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件