【公開日：2025.06.10】【最終更新日：2025.05.13】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
24NM0138
利用課題名 / Title
ガラス表面に形成された微細構造の３次元計測
利用した実施機関 / Support Institute
物質・材料研究機構 / NIMS
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
外部利用/External Use
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）計測・分析/Advanced Characterization（副 / Sub）-
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）次世代ナノスケールマテリアル/Next-generation nanoscale materials（副 / Sub）-
キーワード / Keywords
走査型電子顕微鏡/ Scanning electron microscopy, 集束イオンビーム（FIB）/ Focused ion beam,ナノ多孔体/ Nanoporuous material,メソポーラス材料/ Mesoporous material
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
藤間 卓也
所属名 / Affiliation
東京都市大学 理工学部
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
中村晶子
利用形態 / Support Type
（主 / Main）技術代行/Technology Substitution（副 / Sub）-
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
ガラス表面における腐食現象は、条件によって複雑な微細構造を自発形成することがあるが、その形成過程の詳細や原因はまだ解明できていない。しかしこの構造形成メカニズムは、構造が発現する機能性の理解と制御にとっても非常に重要であり、基礎科学および応用の両観点から興味深い研究課題である。本研究課題では、そのような腐食現象を用いて形成した微細構造について、構造形成の進行度に対する３次元構造の変化を正確に計測することを目的とする。
実験 / Experimental
微細組織3次元マルチスケール解析装置を用いて、水溶液系によって腐食されたガラス表面の３次元計測を行った。
結果と考察 / Results and Discussion
測定によって得られた、多数の断層写真から３次元データの再構成を行った。その結果、断層写真撮影時のドリフトなどを補正して、構造の定量評価が可能な３次元データを再構成することができた。しかし、ナノスケールの構造については輪郭検出が難しく、今後の課題であることが明確化された。
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件