【公開日：2025.06.10】【最終更新日：2025.04.22】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
24NM0092
利用課題名 / Title
表面微細加工による特性調査
利用した実施機関 / Support Institute
物質・材料研究機構 / NIMS
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
外部利用/External Use
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）加工・デバイスプロセス/Nanofabrication（副 / Sub）-
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）次世代ナノスケールマテリアル/Next-generation nanoscale materials（副 / Sub）-
キーワード / Keywords
溶接・接合/ Welding, bonding, 表面・界面/ Surface and Interface, 走査型プローブ顕微鏡/ Scanning probe microscopy
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
飯原 智美
所属名 / Affiliation
三菱マテリアル株式会社
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
二田 伸康
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
吉田 美沙
利用形態 / Support Type
（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）-
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
NM-622：走査型プローブ顕微鏡 [Jupiter XR]
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
材料の表面状態が接合特性や耐候性に及ぼす影響を調べて、新規製品を提案することを目的として開発を進めている。本インフラ利用では、試料表面に微細加工を施すことで得られる特性を調査するために試料の表面形状を計測した。
実験 / Experimental
NIMS千現地区 材料信頼性実験棟にて、微細加工を施し粗さを制御した試料表面の形状測定をオックスフォード・インストゥルメンツ製走査型プローブ顕微鏡 [Jupiter XR]を用いて実施した。測定は形状測定モード（Blue drive AC）で、標準的なカンチレバーを用いて行った。カンチレバーはAC55で、共振周波数は1600Hzである。試料として、作製工程の異なる２つのアルミニウムの平板状サンプル（A、B）を準備した。
結果と考察 / Results and Discussion
作製工程の異なる２つのアルミニウムのサンプル（A、B）について、表面形状を走査型プローブ顕微鏡により測定した。サンプルAは目的形状が形成されていたが、サンプルBは目的形状が形成されていないことが分かった。各作製工程後の試料表面を確認したところ、２つの試料表面形状の差異は作製工程のうちの研磨工程に起因すると推測された。本結果に基づき、研磨工程の改善を開始しているところである。
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
本調査にあたり、貴重な測定機器の利用手続き対応及び利用方法・技術的知見を教えて頂いたNIMS微細加工ユニット渡辺様、吉田様に心より感謝申し上げます。
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件