【公開日：2025.06.10】【最終更新日：2025.03.24】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
24KT2219
利用課題名 / Title
高分子材料に対するドライプロセスによる表面処理方法の比較
利用した実施機関 / Support Institute
京都大学 / Kyoto Univ.
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
外部利用/External Use
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）加工・デバイスプロセス/Nanofabrication（副 / Sub）-
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）マルチマテリアル化技術・次世代高分子マテリアル/Multi-material technologies / Next-generation high-molecular materials（副 / Sub）-
キーワード / Keywords
水蒸気プラズマクリーナー,異種材料接着・接合技術/ Dissimilar material adhesion/bonding technology
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
有本 太郎
所属名 / Affiliation
ウシオ電機株式会社
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
古谷直大
利用形態 / Support Type
（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）-
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
ドライプロセスの表面改質処理方法として，プラズマ処理や紫外線処理などの方法があげられる．これらの処理方法は，高分子材料の表面に官能基を付与することで材料の濡れ性を上げることができる．材料の濡れ性を上げることで，被着物に対する密着性を発現できるため，半導体プリント基板などの産業への応用が期待されている．今回，水蒸気を原料に用いた減圧水蒸気プラズマ処理による表面改質効果を評価することで，密着に寄与する因子を明らかにし，ドライプロセスの装置開発に応用することを目的とする．
実験 / Experimental
Cycloolefin Polymer（COP），Liquid Crystal Polymer（LCP），Polypropylene（PP），Polytetrafluoroethylene（PTFE)のフィルム状または板状サンプルに対して，水蒸気プラズマクリーナー（KT-231）（図1参照，SAMCO社製，AQ-500）にサンプルをセットしてPlasma Etching（PE）モードで処理時間を変えてプラズマ処理（10 Pa，H20 12 sccm，Power 50 W）を実施，処理後すぐに接触角計（KRUSS製 MSA）にて濡れ性を評価した．
結果と考察 / Results and Discussion
図2に接触角評価による濡れ性評価結果を示す．COP，LCP，PP，PTFEいずれのサンプルにおいても，濡れ性の向上が確認できた．接触角の落ち方を比較するとCOP ＞ LCP ＞ PP ＞ PTFEの順で，改質効果に違いが見られた．今後，表面状態の分析などを検討し，改質メカニズムの解明を進めていく．
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
図1．水蒸気プラズマクリーナー SAMCO社製，AQ-500
図2．接触角による濡れ性評価結果
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件