【公開日：2025.06.10】【最終更新日：2025.04.03】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
24KT2203
利用課題名 / Title
有機電子デバイス応用に向けた有機薄膜の構造解析
利用した実施機関 / Support Institute
京都大学 / Kyoto Univ.
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
内部利用（ARIM事業参画者以外）/Internal Use (by non ARIM members)
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）計測・分析/Advanced Characterization（副 / Sub）-
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）マルチマテリアル化技術・次世代高分子マテリアル/Multi-material technologies / Next-generation high-molecular materials（副 / Sub）-
キーワード / Keywords
有機電子デバイス
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
儘田 正史
所属名 / Affiliation
京都大学 大学院理学研究科
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
早川雅大,越智純毅,畠山琢次
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
利用形態 / Support Type
（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）-
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
有機ELや有機トランジスタをはじめとした有機電子デバイスは次世代エレクトロニクスに貢献する。そのようなデバイスの活性層は数十から数百ナノメートル程度の有機薄膜である。本研究では新規有機材料を開発し、それらを用いた高性能デバイスを実現する。新規材料開発においては、その光・電気物性だけでなく、薄膜構造を解析し、高品質な薄膜を作製する必要が不可欠である。また、デバイス化においては、金属電極を含めた各層の膜厚を精度よくコントロールする必要があり、定期的な膜厚測定も必要となる
実験 / Experimental
シリコン基板上に真空蒸着した金の膜厚を触針式段差計（KT-332）で計測し、ツーリングファクターを決定した。これによりメタルマスクを通して金電極を蒸着し、続いて有機薄膜を形成することで有機薄膜トランジスタを作製し、評価した。
結果と考察 / Results and Discussion
蒸着装置を移設したため、膜厚測定を行った。実際、以前決定したツーリングファクターとのずれが生じていた。新たなツーリングファクターを用いて、金をシリコン基板上に50 nm蒸着し、有機薄膜トランジスタ用の金属電極を形成した。その後、有機薄膜を塗布することで、デバイスを作製することができた。
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
[参考文献] Appl. Phys. Lett. 2007, 91, 063514
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件