【公開日：2025.06.10】【最終更新日：2025.04.15】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
24AT0200
利用課題名 / Title
エッチングによる超撥水基板の作成
利用した実施機関 / Support Institute
産業技術総合研究所 / AIST
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
外部利用/External Use
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）加工・デバイスプロセス/Nanofabrication（副 / Sub）-
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）高度なデバイス機能の発現を可能とするマテリアル/Materials allowing high-level device functions to be performed（副 / Sub）-
キーワード / Keywords
光学材料・素子,光デバイス/ Optical Device,スパッタリング/ Sputtering,光リソグラフィ/ Photolithgraphy,膜加工・エッチング/ Film processing/etching
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
青柳 舜也
所属名 / Affiliation
筑波大学 数理物質研究学群
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
加藤雅都,牧原慎吾
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
川又 彰夫
利用形態 / Support Type
（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）-
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
AT-004：電界放出形走査電子顕微鏡[S4800_FE-SEM]
AT-019：多目的エッチング装置(ICP-RIE)
AT-025：スパッタ成膜装置(芝浦）
AT-061：短波長レーザー顕微鏡[OLS-4100]
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
3Dディスプレイやレーザー加工などに活用される光線制御技術の種類は多岐にわたり、様々な手法で開発が進められている。本研究では、微小液滴の電場印加による変形を利用することで、液滴に対して入射させたレーザー光線の方向を制御する新奇デバイスの開発を目指し、ARIMの装置を用いて液滴を支持する超撥水基板の作製を行った。
実験 / Experimental
フォトリソグラフィ技術を用いて、石英基板に液滴を載せる円柱や電極のパターニングを行った。次に、パターニングを行った基板にITOとAuのスパッタリングを行い、電極としての機能を持たせた。その後、Auをマスクとしたドライエッチングにより、液滴を支持するのに十分な高さを有した円柱構造および電極パターンを作製した。このとき、同時にエッチング装置を用いたフッ素加工も行うことで、基板に撥水性を持たせた。
結果と考察 / Results and Discussion
作製した基板を、光学顕微鏡、電界放出形走査電子顕微鏡、及び短波長レーザー顕微鏡で観察したところ、円柱構造や電極が精度よくパターニングされていることが分かった。また、ドライエッチングを行うことにより、パターニングされた部分のみ高くなった撥水性基板の作製に成功した。
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
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Masato Kato, Optically Pumped and Electrically Switchable Microlaser Array Based on Elliptic Deformation and Q‐Attenuation of Organic Droplet Oscillators, Advanced Materials, 37, (2024).
DOI: doi.org/10.1002/adma.202413793
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：1件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件