【公開日:2025.06.10】【最終更新日:2025.03.26】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
24NU0050
利用課題名 / Title
イットリア安定化ジルコニアの高分解能原子像観察のための試料加工
利用した実施機関 / Support Institute
名古屋大学 / Nagoya Univ.
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
外部利用/External Use
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】(主 / Main)計測・分析/Advanced Characterization(副 / Sub)-
【重要技術領域 / Important Technology Area】(主 / Main)高度なデバイス機能の発現を可能とするマテリアル/Materials allowing high-level device functions to be performed(副 / Sub)-
キーワード / Keywords
イオンミリング,セラミックスデバイス/ Ceramic device,セラミックスデバイス/ Ceramic device,イオンミリング/ Ion milling,先端半導体(超高集積回路)/ Advanced Semiconductor (Very Large Scale Integration)
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名(課題申請者)/ User Name (Project Applicant)
小原 広太郎
所属名 / Affiliation
京セラ株式会社
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
荒井 重勇,樋口 公孝
利用形態 / Support Type
(主 / Main)機器利用/Equipment Utilization(副 / Sub)-
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
報告書データ / Report
概要(目的・用途・実施内容)/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
固体酸化物燃料電池(SOFC)における重要材料であるイットリア安定化ジルコニア(YSZ)の焼結体の原子や粒界構造を解析するためにSTEM高分解能原子像観察を目的としている。本実験では、STEM観察のための試料加工として、PIPSを用いてYSZ試料の薄片化を行う。
実験 / Experimental
加工試料:YSZ焼結体
形状:PIPSの前段階として、YSZは2 mm四方に切り出し、単孔板(Φ3 mm, 単孔Φ0.8 mm)に熱硬化性樹脂で貼り付けたうえで、厚さ40 μmまで研磨した。さらに試料中央をディンプル加工し、最底箇所が10 μm程度になるように窪みをつけた。
結果と考察 / Results and Discussion
PIPSⅡ(Gatan社)を用いて、イオンミリング加工を行った。液体窒素で試料台を−150℃程度に冷却し、Dual beamで入射角は±4度とした。
加速電圧は5 keVから始め、薄くなるにつれ3 keV, 2 keV, 1keVと徐々に下げた。穴が空く直前で加速電圧を0.1 keVにし、表面の加工ダメージを除去した。以上の工程により、より広範囲を均一に薄片化することが可能となり、TEM測定における観察可能箇所の増加につながった。
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
その他・特記事項(参考文献・謝辞等) / Remarks(References and Acknowledgements)
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング(DOIのあるもの) / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications:0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents:0件