【公開日：2025.06.10】【最終更新日：2025.04.14】

課題データ / Project Data

課題番号 / Project Issue Number

24NU0044

利用課題名 / Title

高精度な形状可変ミラーの作製

利用した実施機関 / Support Institute

名古屋大学 / Nagoya Univ.

機関外・機関内の利用 / External or Internal Use

内部利用（ARIM事業参画者以外）/Internal Use (by non ARIM members)

技術領域 / Technology Area

【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）計測・分析/Advanced Characterization（副 / Sub）-

【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）高度なデバイス機能の発現を可能とするマテリアル/Materials allowing high-level device functions to be performed（副 / Sub）-

キーワード / Keywords

電子顕微鏡/ Electronic microscope,X線回折/ X-ray diffraction,放射光/ Synchrotron radiation,光導波路/ Optical waveguide,セラミックスデバイス/ Ceramic device,センサ/ Sensor,フォトニクスデバイス/ Nanophotonics device

利用者と利用形態 / User and Support Type

利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)

井上 陽登

所属名 / Affiliation

名古屋大学　大学院工学研究科

共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes

金﨑健太

ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes

山本悠太

利用形態 / Support Type

（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）-

利用した主な設備 / Equipment Used in This Project

NU-102：高分解能電子状態計測走査透過型電子顕微鏡システム

報告書データ / Report

概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)

形状可変ミラーは反射面の形状を調整することで局所的な電磁波の方向を制御することができるため，宇宙望遠鏡や網膜イメージングなどの補償光学システムに組み込まれている．これまでに様々な形状可変ミラーが開発されており，その中でも圧電素子駆動型は元々の反射表面の精度と変形精度の点で優れている．その一方で，変形量の増大が難しい．圧電素子駆動型の中でも比較的変形量が大きいバイモルフミラーでは，基板の厚みが薄いほど変形量がより大きくなる．しかし，複数の基板の接合が不可欠であるためミラーの薄化が難しい． この問題を解決するために，我々の研究グループではニオブ酸リチウム（LiNbO3；LN）の分極反転特性を利用した新規形状可変ミラーを開発している．LNはキュリー点よりやや低い温度（1150 ℃程度）で加熱すると，基板の中央を境界にして厚み方向の自発分極が一部反転することが知られている.この特性を利用することで，接合を必要としない極限的に薄い構造のバイモルフミラーが実現できる．しかし新たな問題として，高温での加熱のプロセスによりLNの基板表面にコンタミが発生することがわかった．そこで本実験ではSEM-EDXでの表面分析によりコンタミの組成，及び原因を解明することを試みた.

実験 / Experimental

利用機器：JSM6610-A 実験方法：LNウエハを，電気炉を用いて1150 ℃で5時間加熱した．そのLNウエハのコンタミの付近をJSM6610-Aを用いて構造観察，及びEDS分析を行った．

結果と考察 / Results and Discussion

サイズ100µm程度のコンタミにおいて，図1にSEM画像，図2にEDS分析の結果を示した．付着物の全体がSiの酸化物で構成され，中心にはAlが存在することがわかった.これらの元素は電気炉の材質（ムライト）と一致しており，コンタミは基板内部の析出物でなく，付着物であると結論付けた．

図・表・数式 / Figures, Tables and Equations

図1　コンタミのSEM画像

図2　EDS分析，(a)Nb，(b)Si，(c)Al，(d)O

その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)

成果発表・成果利用 / Publication and Patents

論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)

口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.

特許 / Patents

特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件