【公開日：2025.06.10】【最終更新日：2025.05.18】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
24NR5069
利用課題名 / Title
顕微ラマン分光光度計の測定パラメータとスペクトル分解能の評価
利用した実施機関 / Support Institute
奈良先端科学技術大学院大学 / NAIST
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
内部利用（ARIM事業参画者）/Internal Use (by ARIM members)
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）計測・分析/Advanced Characterization（副 / Sub）-
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）マルチマテリアル化技術・次世代高分子マテリアル/Multi-material technologies / Next-generation high-molecular materials（副 / Sub）-
キーワード / Keywords
シリコン基材料・デバイス/ Silicon-based materials and devices,プラスチック類/ Plastics,ラマン分光/ Raman spectroscopy,赤外・可視・紫外分光/ Infrared/visible/ultraviolet spectroscopy
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
山垣 美恵子
所属名 / Affiliation
奈良先端科学技術大学院大学マテリアル研究プラットフォームセンター
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
利用形態 / Support Type
（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）-
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
顕微ラマンスペクトルの測定パラメータの選定がスペクトル 特に波数分解能にどのように影響するのかを確認する。標準サンプルとして所有している1) Si基板、2) 複数のラマンスペクトルピークを持つポリプロピレン(PP)の板状サンプル、 についてパラメータを変えて測定する。
実験 / Experimental
励起波長532nmでSi基板およびポリプロピレン板のラマン分光測定を行った。以下のパラメータをそれぞれ変更して測定を行いスペクトルを取得した。
- スリット幅(10, 25, 50, 100um)
- レンズ倍率(100x, 20x)
- グレーティング(刻線数：1800, 600)
結果と考察 / Results and Discussion
スペクトル強度を補正した結果、グレーティング刻線数1800、対物レンズ倍率100倍での測定では、スリット幅10~50umにおいてスペクトルにほとんど差が見られなかった。スリット幅100umでの測定では、ピーク幅のわずかな広がりが観察された。サンプル表面状態にも依存することは考えられるが、レンズ倍率100倍では分光器へ入射する散乱光像サイズが小さいためスリット幅の影響を受けにくいと考えられる。一方グレーティング刻線数1800、対物レンズ倍率20倍での測定ではスリット幅50umと100umでピーク幅の広がりが見られた。スリット幅10umと25umでの差は小さく、対物レンズ100倍の時と比べても差は小さかった。これは、CCDへ入射する散乱光像がCCDのピクセルサイズ以下の場合、分解能が主にCCDのピクセルサイズによって決まるためであると考えられる。グレーティング刻線数600での測定でも、対物レンズ倍率100倍の場合はスリット幅の違いによる差は小さかった。しかし、対物レンズ倍率20倍を使用すると、レンズ倍率100倍と比較して全体的にピーク幅が大きく広がる傾向が見られた。 また、グレーティング刻線数1800、600のいずれにおいても対物レンズ倍率20倍でスリット幅を広げた時のピークの広がりは高波数側で大きかったが、原因は確認できていない。
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
Fig.1, シリコンSiのラマンスペクトル：凡例はスリット幅
Fig.2, ポリプロピレンPPのラマンスペクトル：凡例はスリット幅
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件