【公開日：2025.07.07】【最終更新日：2025.07.07】

課題データ / Project Data

課題番号 / Project Issue Number

24NR5039

利用課題名 / Title

半導体・絶縁体薄膜およびデバイスの特性評価 

利用した実施機関 / Support Institute

奈良先端科学技術大学院大学 / NAIST

機関外・機関内の利用 / External or Internal Use

内部利用（ARIM事業参画者以外）/Internal Use (by non ARIM members)

技術領域 / Technology Area

【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）計測・分析/Advanced Characterization（副 / Sub）-

【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）マルチマテリアル化技術・次世代高分子マテリアル/Multi-material technologies / Next-generation high-molecular materials（副 / Sub）-

キーワード / Keywords

電子分光/ Electron spectroscopy

利用者と利用形態 / User and Support Type

利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)

髙橋 崇典

所属名 / Affiliation

奈良先端科学技術大学院大学 物質創成科学領域

共同利用者氏名 / Names of Collaborators Excluding Supporters in the Hub and Spoke Institutes

ARIM実施機関支援担当者 / Names of Supporters in the Hub and Spoke Institutes

利用形態 / Support Type

（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）,技術代行/Technology Substitution

利用した主な設備 / Equipment Used in This Project

NR-401：多機能走査型X線光電子分光分析装置
NR-402：大気中光電子分光装置
NR-701：示差走査熱量計・示差熱熱重量同時測定装置
NR-601：微小デバイス特性評価装置

報告書データ / Report

概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)

各種半導体薄膜、絶縁体薄膜を有した電子デバイスの開発を目的とした。

実験 / Experimental

各種電子デバイスを開発するため、XPSやTG-DTA装置を用いることで半導体薄膜、絶縁体薄膜、前駆体材料の物性を評価する。
また、試作した電子デバイスの光学的/電気的特性を分光感度・内部量子効率測定装置を用いて評価する。

結果と考察 / Results and Discussion

XPSやTG-DTA装置などの設備を使用することで、半導体薄膜、絶縁体薄膜、前駆体材料の材料物性の理解が進展し、太陽電池や電界効果トランジスタ、熱電変換素子、パワーデバイスなどの電子デバイスを開発するための重要なデータと知見が得られた。

図・表・数式 / Figures, Tables and Equations

その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)

設備利用にご助力いただいた技術職員の皆様にお礼申し上げます。

成果発表・成果利用 / Publication and Patents

論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)

口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.

特許 / Patents

特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件