【公開日：2025.06.10】【最終更新日：2025.04.28】

課題データ / Project Data

課題番号 / Project Issue Number

24UT1256

利用課題名 / Title

超伝導集積回路を用いた天文観測用の広帯域分光器の開発

利用した実施機関 / Support Institute

東京大学 / Tokyo Univ.

機関外・機関内の利用 / External or Internal Use

内部利用（ARIM事業参画者以外）/Internal Use (by non ARIM members)

技術領域 / Technology Area

【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）加工・デバイスプロセス/Nanofabrication（副 / Sub）-

【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）量子・電子制御により革新的な機能を発現するマテリアル/Materials using quantum and electronic control to perform innovative functions（副 / Sub）-

キーワード / Keywords

超伝導検出器,リソグラフィ/ Lithography,超伝導/ Superconductivity,蒸着・成膜/ Vapor deposition/film formation,膜加工・エッチング/ Film processing/etching

利用者と利用形態 / User and Support Type

利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)

河野 孝太郎

所属名 / Affiliation

東京大学理学系研究科附属天文学教育研究センター

共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes

西村優里

ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes

落合幸徳,水島彩子,藤原誠

利用形態 / Support Type

（主 / Main）技術相談/Technical Consultation（副 / Sub）-

利用した主な設備 / Equipment Used in This Project

報告書データ / Report

概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)

天文学用の望遠鏡に搭載する超伝導検出器の開発を目的としている。今年度は超伝導転移温度が高く均質な膜厚のNbTiN薄膜を成膜すること、高速な電子線描画ができることを目指し、機関の担当者の方と相談しながら、利用できる装置、必要な材料について検討を進めた。

実験 / Experimental

目的の検出器を製作するためにどの装置をどのように利用するか、計画を練っている段階で、今年度は実験の実施はない。

結果と考察 / Results and Discussion

今後は、検出器のデザインを決め、電子線描画・スパッタリング・エッチングなどの具体的なプロセスを検討する。合わせて、装置の利用に必要な技術を習得し、検出器の製作、実験室での測定、望遠鏡への搭載と進めていきたい。

図・表・数式 / Figures, Tables and Equations

その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)

成果発表・成果利用 / Publication and Patents

論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)

口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.

特許 / Patents

特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件