【公開日：2025.06.10】【最終更新日：2025.05.20】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
24TT0014
利用課題名 / Title
高秩序ナノ構造体の創製と評価
利用した実施機関 / Support Institute
豊田工業大学 / Toyota Tech.
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
外部利用/External Use
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）加工・デバイスプロセス/Nanofabrication（副 / Sub）-
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）次世代ナノスケールマテリアル/Next-generation nanoscale materials（副 / Sub）-
キーワード / Keywords
ナノ構造体,PVD,蒸着・成膜/ Vapor deposition/film formation,スパッタリング/ Sputtering
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
徳 悠葵
所属名 / Affiliation
名古屋大学大学院工学研究科
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
橋本 陽輝,林 聖也,辻村 駿介,瀬戸 貴文
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
利用形態 / Support Type
（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）-
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
本研究では，機能・秩序・品質を高度化したナノスケールの構造体を創製する．また，創製した材料の機能・秩序・品質を電子顕微鏡を駆使することにより，材料の微視組織の観察，結晶構造の解析を行い，創製材料の機能を評価する．
実験 / Experimental
金属（AlやCuなど），金属酸化物（Fe2O3やCuOなど）からなるナノ構造体について，その原料となる薄膜を蒸着装置を用いて作製した．具体的には，スパッタリングや電子ビーム蒸着法を駆使することにより，厚さ100 nm程度の薄膜を成膜し，その後加熱処理を実施することによりナノ構造体作製を試みた．
結果と考察 / Results and Discussion
物理気相蒸着法により金属と酸化物を混合した薄膜を作製し，その後300℃の加熱処理を実施することにより，金属ナノ構造体の作製に成功した．得られたナノ構造体はAlで構成され，直径100 nm程度，長さ100 µmを超える高アスペクト比を有していた．
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件