【公開日：2025.06.10】【最終更新日：2025.05.14】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
24UT1134
利用課題名 / Title
フレキシブル有機光センサのためのフレキシブルバリア膜の開発
利用した実施機関 / Support Institute
東京大学 / Tokyo Univ.
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
内部利用（ARIM事業参画者以外）/Internal Use (by non ARIM members)
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）加工・デバイスプロセス/Nanofabrication（副 / Sub）-
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）革新的なエネルギー変換を可能とするマテリアル/Materials enabling innovative energy conversion（副 / Sub）高度なデバイス機能の発現を可能とするマテリアル/Materials allowing high-level device functions to be performed
キーワード / Keywords
有機光デバイス,光デバイス/ Optical Device,高品質プロセス材料/技術/ High quality process materials/technique,環境発電/ Energy Harvesting,太陽電池/ Solar cell,蒸着・成膜/ Vapor deposition/film formation
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
染谷 隆夫
所属名 / Affiliation
東京大学工学系研究科電気系工学専攻
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
横田知之,立花勇太郎,小泉真里
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
利用形態 / Support Type
（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）-
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
本研究では、フレキシブルな有機光デバイスを実現するために、フレキシブルな封止膜を開発することを目的とする。具体的には、バリア性とフレキシブル性を同時に実現するために、有機と無機の積層膜を用いる。さらに、有機光デバイスに影響を与えないために、１００℃以下の低温成膜で高性能な封止膜を実現することを目指す。
実験 / Experimental
フレキシブル基板上に有機と無機の膜を条件を変更させながら成膜し、フレキシブル性とバリア性を計測する。フレキシブル基板の洗浄を武田クリーンルームで行った。図1に有機・無機積層構造のフレキシブルバリア製膜装置を示す。特に、バリア性をメインで担う無機膜の条件出しのために、成膜温度と厚さを変更させた際のバリア性について評価を行った。バリア性の評価を行ったのちに、有機膜と無機膜を積層した際のバリア性とフレキシブル性の評価を行った。フレキシブル性に関しては、曲げ半径を固定して繰り返し曲げ試験を行い、そののちにバリア膜の性能を計測することで、評価した。
結果と考察 / Results and Discussion
これまでに、パリレン膜とSiON膜を５層積層することで、水蒸気透過率が1×10-4g/(m2・24h)以下まで低減させることができることを確認した。一般的に、有機発光素子に用いるバリア特性としては10-6以下、有機太陽電池では10-4以下のバリア性が必要と言われている。そのため、今回開発したバリア膜は有機太陽電池に用いるのには十分なバリア性を有していることが確認できた。今後は、フレキシブル性の評価や実際の有機光デバイス上に成膜した際の特性などを評価する予定である。
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
図：有機・無機積層構造のフレキシブルバリア膜
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件