【公開日：2025.06.10】【最終更新日：2025.04.28】

課題データ / Project Data

課題番号 / Project Issue Number

24UT1100

利用課題名 / Title

DLCナノメカニカル振動子の作製

利用した実施機関 / Support Institute

東京大学 / Tokyo Univ.

機関外・機関内の利用 / External or Internal Use

内部利用（ARIM事業参画者以外）/Internal Use (by non ARIM members)

技術領域 / Technology Area

【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）加工・デバイスプロセス/Nanofabrication（副 / Sub）-

【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）高度なデバイス機能の発現を可能とするマテリアル/Materials allowing high-level device functions to be performed（副 / Sub）-

キーワード / Keywords

集束イオンビーム, DLC,センサ/ Sensor,膜加工・エッチング/ Film processing/etching

利用者と利用形態 / User and Support Type

利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)

別所 和樹

所属名 / Affiliation

東京大学新領域創成科学研究科人間環境学専攻

共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes

割澤 伸一（東京大学大学院新領域創成科学研究科）,米谷玲皇（東京大学大学院新領域創成科学研究科）

ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes

利用形態 / Support Type

（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）,技術補助/Technical Assistance

利用した主な設備 / Equipment Used in This Project

UT-501：卓上アッシング装置

報告書データ / Report

概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)

Diamond-like Carbon (DLC)からなるナノメカニカル振動子を作製した．この振動子の作製プロセスにおいて，卓上アッシング装置（FA-1）を用いた．

実験 / Experimental

Si基板側面にDiamond-like Carbon (DLC)からなるナノメカニカル振動子を作製した．まず，集束イオンビーム化学気相成長法 (focused-ion-beam chemical vapor deposition: FIB-CVD)を用いて，Si基板の側面にDLCからなる振動子構造を作製した．その後，卓上アッシング装置（FA-1）を用いて，FIB-CVDにより作製したDLC振動子構造の表面をエッチングした．このプロセスでは，プロセスガスとして，O₂ (100 Pa)を用いた．また，出力は100 Wであり，エッチング時間は60 sであった．

結果と考察 / Results and Discussion

作製したDiamond-like Carbon (DLC)からなるナノメカニカル振動子を，Fig. 1に示す．長さ，幅，厚さは，それぞれ約44 µm, 約5 µm, 約150 nmであった．光センシングへの応用が期待される．

図・表・数式 / Figures, Tables and Equations

Fig. 1 SEM photograph of DLC nanomechanical resonator

その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)

成果発表・成果利用 / Publication and Patents

論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)

口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.

1. Kazuki Bessho, Shin’ichi Warisawa and Reo Kometani: "Optical force measurement method by a nanomechanical resonant device with electrostatic force coupling", 50th International Micro and Nano Engineering Conference (MNE2024), France, September 2024

特許 / Patents

特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件