【公開日:2025.06.10】【最終更新日:2025.04.28】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
24UT1100
利用課題名 / Title
DLCナノメカニカル振動子の作製
利用した実施機関 / Support Institute
東京大学 / Tokyo Univ.
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
内部利用(ARIM事業参画者以外)/Internal Use (by non ARIM members)
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】(主 / Main)加工・デバイスプロセス/Nanofabrication(副 / Sub)-
【重要技術領域 / Important Technology Area】(主 / Main)高度なデバイス機能の発現を可能とするマテリアル/Materials allowing high-level device functions to be performed(副 / Sub)-
キーワード / Keywords
集束イオンビーム, DLC,センサ/ Sensor,膜加工・エッチング/ Film processing/etching
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名(課題申請者)/ User Name (Project Applicant)
別所 和樹
所属名 / Affiliation
東京大学新領域創成科学研究科人間環境学専攻
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
割澤 伸一(東京大学大学院新領域創成科学研究科),米谷玲皇(東京大学大学院新領域創成科学研究科)
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
利用形態 / Support Type
(主 / Main)機器利用/Equipment Utilization(副 / Sub),技術補助/Technical Assistance
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
報告書データ / Report
概要(目的・用途・実施内容)/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
Diamond-like Carbon (DLC)からなるナノメカニカル振動子を作製した.この振動子の作製プロセスにおいて,卓上アッシング装置(FA-1)を用いた.
実験 / Experimental
Si基板側面にDiamond-like Carbon (DLC)からなるナノメカニカル振動子を作製した.まず,集束イオンビーム化学気相成長法 (focused-ion-beam chemical vapor deposition: FIB-CVD)を用いて,Si基板の側面にDLCからなる振動子構造を作製した.その後,卓上アッシング装置(FA-1)を用いて,FIB-CVDにより作製したDLC振動子構造の表面をエッチングした.このプロセスでは,プロセスガスとして,O2 (100 Pa)を用いた.また,出力は100 Wであり,エッチング時間は60 sであった.
結果と考察 / Results and Discussion
作製したDiamond-like Carbon (DLC)からなるナノメカニカル振動子を,Fig. 1に示す.長さ,幅,厚さは,それぞれ約44 µm, 約5 µm, 約150 nmであった.光センシングへの応用が期待される.
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
Fig. 1 SEM photograph of DLC nanomechanical resonator
その他・特記事項(参考文献・謝辞等) / Remarks(References and Acknowledgements)
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング(DOIのあるもの) / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
- Kazuki Bessho, Shin’ichi Warisawa and Reo Kometani: "Optical force measurement method by a nanomechanical resonant device with electrostatic force coupling", 50th International Micro and Nano Engineering Conference (MNE2024), France, September 2024
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications:0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents:0件