利用報告書 / User's Reports

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【公開日:2025.06.10】【最終更新日:2025.04.28】

課題データ / Project Data

課題番号 / Project Issue Number

24UT1100

利用課題名 / Title

DLCナノメカニカル振動子の作製

利用した実施機関 / Support Institute

東京大学 / Tokyo Univ.

機関外・機関内の利用 / External or Internal Use

内部利用(ARIM事業参画者以外)/Internal Use (by non ARIM members)

技術領域 / Technology Area

【横断技術領域 / Cross-Technology Area】(主 / Main)加工・デバイスプロセス/Nanofabrication(副 / Sub)-

【重要技術領域 / Important Technology Area】(主 / Main)高度なデバイス機能の発現を可能とするマテリアル/Materials allowing high-level device functions to be performed(副 / Sub)-

キーワード / Keywords

集束イオンビーム, DLC,センサ/ Sensor,膜加工・エッチング/ Film processing/etching


利用者と利用形態 / User and Support Type

利用者名(課題申請者)/ User Name (Project Applicant)

別所 和樹

所属名 / Affiliation

東京大学新領域創成科学研究科人間環境学専攻

共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes

割澤 伸一(東京大学大学院新領域創成科学研究科),米谷玲皇(東京大学大学院新領域創成科学研究科)

ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
利用形態 / Support Type

(主 / Main)機器利用/Equipment Utilization(副 / Sub),技術補助/Technical Assistance


利用した主な設備 / Equipment Used in This Project

UT-501:卓上アッシング装置


報告書データ / Report

概要(目的・用途・実施内容)/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)

Diamond-like Carbon (DLC)からなるナノメカニカル振動子を作製した.この振動子の作製プロセスにおいて,卓上アッシング装置(FA-1)を用いた.

実験 / Experimental

Si基板側面にDiamond-like Carbon (DLC)からなるナノメカニカル振動子を作製した.まず,集束イオンビーム化学気相成長法 (focused-ion-beam chemical vapor deposition: FIB-CVD)を用いて,Si基板の側面にDLCからなる振動子構造を作製した.その後,卓上アッシング装置(FA-1)を用いて,FIB-CVDにより作製したDLC振動子構造の表面をエッチングした.このプロセスでは,プロセスガスとして,O2 (100 Pa)を用いた.また,出力は100 Wであり,エッチング時間は60 sであった.

結果と考察 / Results and Discussion

作製したDiamond-like Carbon (DLC)からなるナノメカニカル振動子を,Fig. 1に示す.長さ,幅,厚さは,それぞれ約44 µm, 約5 µm, 約150 nmであった.光センシングへの応用が期待される.

図・表・数式 / Figures, Tables and Equations


Fig. 1 SEM photograph of DLC nanomechanical resonator


その他・特記事項(参考文献・謝辞等) / Remarks(References and Acknowledgements)


成果発表・成果利用 / Publication and Patents

論文・プロシーディング(DOIのあるもの) / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
  1. Kazuki Bessho, Shin’ichi Warisawa and Reo Kometani: "Optical force measurement method by a nanomechanical resonant device with electrostatic force coupling", 50th International Micro and Nano Engineering Conference (MNE2024), France, September 2024
特許 / Patents

特許出願件数 / Number of Patent Applications:0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents:0件

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