【公開日：2025.06.10】【最終更新日：2025.03.17】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
24UT1099
利用課題名 / Title
微細加工技術を用いた生体模倣システムの作製
利用した実施機関 / Support Institute
東京大学 / Tokyo Univ.
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
外部利用/External Use
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）加工・デバイスプロセス/Nanofabrication（副 / Sub）-
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）次世代バイオマテリアル/Next-generation biomaterials（副 / Sub）-
キーワード / Keywords
リソグラフィ/ Lithography,細胞培養デバイス/ Cell Culture Device,光リソグラフィ/ Photolithgraphy
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
梶 弘和
所属名 / Affiliation
東京科学大学 生体材料工学研究所
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
梨本裕司,堀 武志,許 家誠,Ines Goncalves,柴田 蒼大,Jiang Bin,佐藤 優輝,Fu Yuning,QuanGang Peng
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
利用形態 / Support Type
（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）-
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
微細な流路を備えた細胞培養デバイス（いわゆる細胞培養用マイクロ流路デバイスや臓器チップ）を作製するため、東京大学の設備を活用してフォトリソグラフィーを行い、デバイスの鋳型を作製した。
実験 / Experimental
ウエハをH2O2/H2SO4混合溶液で処理し、その後洗浄した。次に、ウエハに SU-8 3050 または SU-8 2100 をスピンコートし、以下の加熱処理を行った。60℃ 1分 → 110℃ 50分 → 65℃ 1分 → 室温で30分以上保持。その後、マスクアライナー MA6 を用いて、フォトマスク上のパターンを SU-8 が塗布されたウエハに転写した。続いて、以下の加熱処理を実施した。65℃ 1分 → 95℃ 5分 → 65℃ 1分 → 室温で5分以上保持。次に、SU-8 Developer（または PM シンナー）で現像し、イソプロパノールとエタノールで洗浄した。最後に、150℃で10分間加熱するなどの処理を行い、型を完成させた。
結果と考察 / Results and Discussion
本方法により、ウエハ上に微細な SU-8 パターンを形成することができた。たとえば、流路幅は約 1000 ミクロン、流路高さは 100～200 ミクロン程度の流路を作製することが可能であった。 作製したSU-8パターンにPDMSを流し込み、硬化させた後、PDMSを剥離することで、所望のパターンを持つPDMSシートを作製できた。
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
図1 作製したSU-8 モールドの一例
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
- Xu Jiacheng, Hori Takeshi, Nashimoto Yuji, Yoshida Shotaro, Kaji Hirokazu. Chitosan Micro-Mesh Sheets for Sustainable Production of Cultured Fish Fillets.化学とマイクロ・ナノシステム学会 第49回研究会（CHEMINAS 49） 2024年6月2日, 東京
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件