【公開日：2025.06.10】【最終更新日：2025.04.28】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
24UT1026
利用課題名 / Title
ジャイロセンサー開発
利用した実施機関 / Support Institute
東京大学 / Tokyo Univ.
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
外部利用/External Use
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）加工・デバイスプロセス/Nanofabrication（副 / Sub）-
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）その他/Others（副 / Sub）-
キーワード / Keywords
PZTエッチング条件確認および再現性
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
行藤 敏克
所属名 / Affiliation
株式会社シリコンセンシングプロダクツ生産部プロセス開発グループ
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
利用形態 / Support Type
（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）-
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
ジャイロで使用するPZTエッチングの条件確認および再現性の確認を行った。
装置の使用時期により、レート及び選択比が異なる結果となっており、安定したエッチングが出来るか確認した。
実験 / Experimental
UT-605塩素系ICPエッチング装置を用いて、3種類のエッチング条件で、PZTエッチングを行いレートおよびレジスト選択比の確認を行った。
結果と考察 / Results and Discussion
エッチング時期が異なると、3条件ともレートやレジスト選択比が安定しない。
原因は、チャンバー雰囲気起因とチャックの冷却具合である事は判明した。
メンテナンス内容を検討し、チャンバー雰囲気を安定させるか同じ状態にする必要がある。
詳細結果は、表1を参照。
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
表1 PZTエッチングのエッチング条件依存性を調査した結果
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件