【公開日：2025.06.10】【最終更新日：2025.05.13】

課題データ / Project Data

課題番号 / Project Issue Number

24IT0052

利用課題名 / Title

COPフィルム両面にカット金属ワイヤを配置した構造の光渦生成素子の電子ビーム露光による作製の検討

利用した実施機関 / Support Institute

東京科学大学 / Science Tokyo

機関外・機関内の利用 / External or Internal Use

外部利用/External Use

技術領域 / Technology Area

【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）加工・デバイスプロセス/Nanofabrication（副 / Sub）-

【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）量子・電子制御により革新的な機能を発現するマテリアル/Materials using quantum and electronic control to perform innovative functions（副 / Sub）-

キーワード / Keywords

メタサーフェス

利用者と利用形態 / User and Support Type

利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)

朝田 晴美

所属名 / Affiliation

弘前大学大学院理工学研究科

共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes

鈴木 健仁

ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes

梅本 髙明

利用形態 / Support Type

（主 / Main）技術相談/Technical Consultation（副 / Sub）-

利用した主な設備 / Equipment Used in This Project

報告書データ / Report

概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)

次世代通信に向けた光渦生成素子の実現のため、シクロオレフィンポリマー(COP)フィルム上にカット金属ワイヤを配置した構造の電子ビーム露光による作製に関する技術相談を行った。

実験 / Experimental

技術相談のため、実験はしていない。

結果と考察 / Results and Discussion

技術相談を通し、希望している数mm角の大面積かつ数10～数100 μmの寸法パラメータのパターンの作製について、電子ビーム露光よりもフォトリソグラフィのマスクレス露光が適している可能性を指摘いただいた。また、24IT0051(COPフィルム両面にカット金属ワイヤを配置した構造のアンテナ素子の電子ビーム露光による作製)で実験した電子ビーム露光とリフトオフによる作製プロセスでは、COPフィルム上にカット金属ワイヤを配置した構造の作製が困難であり、作製プロセスの再検討が必要であることがわかった。

図・表・数式 / Figures, Tables and Equations

その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)

成果発表・成果利用 / Publication and Patents

論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)

口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.

特許 / Patents

特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件