【公開日：2025.06.10】【最終更新日：2025.05.13】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
24IT0008
利用課題名 / Title
micro-TWA法要素技術開発（ミクロセンサー作製）
利用した実施機関 / Support Institute
東京科学大学 / Science Tokyo
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
内部利用（ARIM事業参画者以外）/Internal Use (by non ARIM members)
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）加工・デバイスプロセス/Nanofabrication（副 / Sub）計測・分析/Advanced Characterization
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）量子・電子制御により革新的な機能を発現するマテリアル/Materials using quantum and electronic control to perform innovative functions（副 / Sub）-
キーワード / Keywords
ダイシング/ Dicing,光リソグラフィ/ Photolithgraphy
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
森川 淳子
所属名 / Affiliation
東京科学大学 物質理工学院 材料系
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
亀垣柊二,A. Khayala,内藤知岳
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
北村俊昭
利用形態 / Support Type
（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）-
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
IT-004：マスクレス露光装置
IT-027：ダイシングソー及びダイシング補助装置
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
サーモスペクトロスコピーは、赤外領域の熱放射と透過中振動分光情報を同時にイメージングする技術である。この手法により、相転移のような動的過程における熱拡散や構造転移の空間的変化を決定することができる。本研究では、相変化材料(PCM)を担持したスマートテキスタイル内部の熱伝達現象の調査にこの手法を適用した。
実験 / Experimental
実験は、化学増幅型フォトレジスト（mr-DWL）を用いてマスクレス露光を含むMEMSプロセスで作製したスマートテキスタイルのレプリカ構造に対して行った。n-アルカンをPCMとしてレプリカ構造体に担持し、相転移に伴う発熱、熱拡散、構造変化を赤外分光イメージングとサーモグラフィを同時に用いて解析する手法を構築した。 IT-027 はセンサーを作成したシリコンウェハーのダイシングに使用した。
結果と考察 / Results and Discussion
PCMの熱画像および分光イメージングから、スマートテキスタイルのレプリカ内ミクロ構造中を、相転移の吸発熱に伴い熱が拡散する速度を正確に定量化することが可能となった。この測定は、急速な熱の吸収と放出が必要な用途におけるPCMの有効性を判断するために重要である。
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
- Khayala Agharahimli, Meguya Ryu, Shuji Kamegaki, Junko Morikawa, Roberto Li Voti, Thermospectroscopic imaging and thermophysical property measurement of PCM in the textile-replicated MEMS structure, 第85回 応用物理学会秋季学術講演会 2024年9月19日
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件