【公開日：2025.06.10】【最終更新日：2025.04.14】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
24IT0002
利用課題名 / Title
3次元磁気メモリのめっき膜の微細加工
利用した実施機関 / Support Institute
東京科学大学 / Science Tokyo
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
内部利用（ARIM事業参画者以外）/Internal Use (by non ARIM members)
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）加工・デバイスプロセス/Nanofabrication（副 / Sub）-
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）量子・電子制御により革新的な機能を発現するマテリアル/Materials using quantum and electronic control to perform innovative functions（副 / Sub）-
キーワード / Keywords
スピン制御/ Spin control,スピントロニクス/ Spintronics,光リソグラフィ/ Photolithgraphy
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
黄 童雙
所属名 / Affiliation
東京科学大学工学院電気電子系
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
利用形態 / Support Type
（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）-
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
実験の目的は、電解めっき磁性 CoPt 合金薄膜をホールバー素子へと加工し、スピントロニクスデバイスへの応用を目指すことである。
ホールバー素子へ加工するために、露光装置を用いてフォトリソグラフィを行いました。
実験 / Experimental
電解めっき膜の表面に OAP と S1818 を塗布し、マスクレス露光装置を用いて露光を行い、ホールバー素子を作製した。
次に、素子上に二次フォトレジストを塗布し、再度露光を行った後、スパッタリングにより電極を形成し、リフトオフ操作を行い、ホールバー素子を完成しました。
結果と考察 / Results and Discussion
一連のフォトレジスト塗布、露光、およびミリングプロセスを経て、ホールバー素子の作製に成功した。
本ホールバー素子の幅は 5 μm であり、これまで本研究室で作製された中で最小の寸法となった。
さらに、本素子において、望ましい異常ホール信号およびスピン軌道信号の測定にも成功した。
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
- Tongshuang Huang, Yota Takamura, Shinji Isogami, Takanori Shirokura, Md. Mahmudul Hasan, Mikiko Saito, Shinya Kasai, Shigeki Nakagawa, Detection and precise evaluation of spin-orbit torque in electrochemically deposited CoPt thin film with integrated harmonic Hall measurement, ICM2024_6.02_264, Oral, Bologna, Italy, Jun. 2024.
- Tongshuang Huang, Shinji Isogami, Takanori Shirokura, Md. Mahmudul Hasan, Mikiko Saito, Jun Uzuhashi, Tadakatsu Ohkubo, Kasai Shinya, Shigeki Nakagawa, Yota Takamura, Demonstration of current-induced spin-orbit torque magnetization switching in electrodeposited CoPt ultrathin film, JSAP2025, Oral, Tokyo University of Science, Tokyo, Japan, Mar. 2025.
- Tongshuang Huang, Shinji Isogami, Takanori Shirokura, Md. Mahmudul Hasan, Mikiko Saito, Jun Uzuhashi, Tadakatsu Ohkubo, Kasai Shinya, Shigeki Nakagawa, Yota Takamura, Spin-Orbit Torque-Induced Magnetization Switching in Electrochemically Deposited CoPt Oriented Polycrystalline Film, Nano Letters. （査読中）
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件