【公開日：2025.04.17】【最終更新日：2025.04.16】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
22JI0022
利用課題名 / Title
Ni-Al積層膜の拡散状態の分析
利用した実施機関 / Support Institute
北陸先端科学技術大学院大学 / JAIST
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
外部利用/External Use
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）計測・分析/Advanced Characterization（副 / Sub）-
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）高度なデバイス機能の発現を可能とするマテリアル/Materials allowing high-level device functions to be performed（副 / Sub）-
キーワード / Keywords
aluminum, nickel, multilayer film, diffusion,,電子顕微鏡/Electron microscopy,集束イオンビーム/Focused ion beam,パワーエレクトロニクス/ Power electronics
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
小柴 佳子
所属名 / Affiliation
地方独立行政法人神奈川県立産業技術総合研究所
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
利用形態 / Support Type
（主 / Main）技術代行/Technology Substitution（副 / Sub）-
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
Ni-Al積層膜の加熱処理後の拡散状態について、北陸先端科学技術大学院大学の保有設備である原子分解能走査透過型電子顕微鏡（STEM）（日本電子製（JEOL）・JEM-ARM200F）を利用して断面TEM観察を行った。その結果、熱処理前後および熱処理条件の違いによる組成分布の差や、空隙の存在を明瞭に観察することができた。
実験 / Experimental
半導体Si上にAl、Niの順に薄膜を成膜した試料を作製し、加熱温度450℃、保持時間１時間の熱処理を施した。熱処理試料および熱処理前の試料を集束イオンビーム加工装置で薄片化し、原子分解能走査透過型電子顕微鏡（STEM）（日本電子製（JEOL）・JEM-ARM200F）を用いて透過像および原子マッピング像を撮影した。
結果と考察 / Results and Discussion
集束イオンビーム加工装置によってSi上のNi-Al積層膜を観察可能な状態に薄片化でき、断面TEM観察の結果、加熱処理後の試料においてNiとAlの拡散が進行していることを明らかにすることができた。また、熱処理条件によって膜界面に部分的に空隙が存在することを明らかにすることができた。
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
- 小柴佳子、巽宏平、Niナノ粒子－Alマイクロ粒子接合材を用いた大気加熱による高耐熱接合,エレクトロニクス実装学会2023年度ワークショップ,2023.10
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件