【公開日：2025.04.17】【最終更新日：2025.04.16】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
22JI0001
利用課題名 / Title
オーミック金属下におけるAlGaN/GaNヘテロ構造の微細構造観察
利用した実施機関 / Support Institute
北陸先端科学技術大学院大学 / JAIST
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
外部利用/External Use
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）計測・分析/Advanced Characterization（副 / Sub）-
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）高度なデバイス機能の発現を可能とするマテリアル/Materials allowing high-level device functions to be performed（副 / Sub）革新的なエネルギー変換を可能とするマテリアル/Materials enabling innovative energy conversion
キーワード / Keywords
形状・形態観察,分析,窒化ガリウム,オーミックコンタクト,電子顕微鏡/Electron microscopy,集束イオンビーム/Focused ion beam,高周波デバイス/ High frequency device
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
瓜生 和也
所属名 / Affiliation
株式会社アドバンテスト研究所
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
鈴木寿一
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
東嶺孝一
利用形態 / Support Type
（主 / Main）技術代行/Technology Substitution（副 / Sub）-
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
オーミック金属を形成したAlGaN/GaNヘテロ構造について、原子分解能走査透過型電子顕微鏡(STEM)を用いた微細構造観察を行った。
実験 / Experimental
AlGaN/GaNヘテロ構造上にTi系あるいはTa系積層金属を堆積およびアニールすることでオーミックコンタクト を形成した.これらの試料について, オーミック金属直下AlGaN/GaNヘテロ構造の構造を原子分解能走査透過型電子顕微鏡JEM-ARM200Fを用いて観察した. 観察試料の加工には集束イオンビーム加工装置 FIB SMI3050を 用いた.
結果と考察 / Results and Discussion
HAADF(High-angle Annular Dark Field)像においてTi系, Ta系積層金属どちらの試料においてもオーミック金属とAlGaN界面において暗い変性層が生じていることがわかった. HAADF 像では原子量が小さいほど像が暗くなることから, 変性層ではGaに比べて原子量の小さいAl やN の割合が大きいことが考えられる.
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
実験に協力いただいた東嶺氏に感謝する.
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件