【公開日：2024.07.25】【最終更新日：2024.03.01】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
23AT0149
利用課題名 / Title
ナノカーボン材料に関する研究
利用した実施機関 / Support Institute
産業技術総合研究所 / AIST
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
内部利用（ARIM事業参画者以外）/Internal Use (by non ARIM members)
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）加工・デバイスプロセス/Nanofabrication（副 / Sub）計測・分析/Advanced Characterization
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）次世代ナノスケールマテリアル/Next-generation nanoscale materials（副 / Sub）高度なデバイス機能の発現を可能とするマテリアル/Materials allowing high-level device functions to be performed
キーワード / Keywords
エレクトロデバイス/ Electronic device,蒸着・成膜/ Vapor deposition/film formation,光学顕微鏡/ Optical microscope,ナノカーボン/ Nano carbon,ナノチューブ/ Nanotube
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
坂本 みつ江
所属名 / Affiliation
産業技術総合研究所
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
杉山 和義,郭 哲維
利用形態 / Support Type
（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）,技術補助/Technical Assistance
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
AT-023：電子ビーム真空蒸着装置
AT-048：ナノサーチ顕微鏡SPM_3[SFT-3500]
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
カーボンナノチューブを用いたメモリデバイスの開発において、カーボンナノチューブの軸に垂直方向の電気伝導特性を理解することは重要である。本研究ではまず、カーボンナノチューブの垂直方向の電気伝導特性を評価できる試料作製を試みた。
実験 / Experimental
カーボンナノチューブを乗せるための下地の絶縁基板を２種類準備した。1つは熱酸化膜付きｐ+-Si(SiO2=100 nm)基板を１cm角に切断した。もう一つは、石英基板1 cm角を準備した。次に、切断した基板全面に、電子線蒸着法により金/チタン電極を蒸着した。チタンの厚みは20 nm、金の厚みは180 nmとした。蒸着時の基板加熱は行っていない。
結果と考察 / Results and Discussion
下地の絶縁基板上に金属電極を蒸着した、熱酸化膜付き下地基板の光学顕微鏡写真を示す。顕微鏡画像の光沢から、金が基板表面に形成されている様子が確認できた。今後は、この基板上にカーボンナノチューブを分散させられるかどうかプロセス開発を行う。加えて、ナノ材料が評価可能な測定の一つである、走査型プローブ顕微鏡での観察を試みたい。
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
図１. 作成した金属電極の光学顕微鏡写真
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件