【公開日：2023.08.01】【最終更新日：2023.05.22】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
22KT1273
利用課題名 / Title
生物を模倣したソフトロボットの開発
利用した実施機関 / Support Institute
京都大学 / Kyoto Univ.
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
外部利用/External Use
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）加工・デバイスプロセス/Nanofabrication（副 / Sub）-
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）マルチマテリアル化技術・次世代高分子マテリアル/Multi-material technologies / Next-generation high-molecular materials（副 / Sub）-
キーワード / Keywords
リソグラフィー,露光・描画装置,ソフトリソグラフィー,DMD,成形/Molding,リソグラフィ/Lithography,3D積層技術/ 3D lamination technology
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
長濱 峻介
所属名 / Affiliation
1)早稲田大学 次世代ロボット研究機構、2)京都先端科学大学 ナガモリアクチュエータ研究所
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
利用形態 / Support Type
（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）-
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
KT-104：高速マスクレス露光装置
KT-107：厚膜フォトレジスト用スピンコーティング装置
KT-306：3D測定レーザー顕微鏡
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
マスクレス露光装置は、DMDにより光の照射を制御しているが、BMP画像のピクセルは四角形なのに対し、光は円形であるため、露光時にBMP画像とのズレが出る。特に、装置の最小分解能である1um程度の線幅の露光を実施する際に、顕著に影響が出る。そこで本年度は、より精密な微小構造用のモールドを製作するために、露光時のズレを考慮した図面を作成することで、密な微小構造を得る方法の検証を行った。
実験 / Experimental
ズレを考慮していないBMP画像（画像A）とズレを考慮して設計したBMP画像（画像B）を用意して、露光する実験を行った。Dose量は500 mJ、サブピクセル(SP)モードで露光は行った。レジストはPMER P-LA900PMを用いた。
結果と考察 / Results and Discussion
図１は現像後のパターンをレーザー顕微鏡で観察した結果である。図１.aは、画像Aを用いたパターンであり、本来作られる予定であった凸部の構造が消失している。図1.bは、 画像Bを用いたパターンであるが、凸部の構造が等間隔で形成できている。なお、SPモードを用いない場合も、ズレを考慮しないと図1.a同様の結果になることを確認している。このことからも1 um前後の構造を製作するためには、ズレを考慮したBMP画像の設計が重要であることが確認できた。
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
図１ a)ズレを考慮しない画像を用いて得られたパターン、b)ズレを考慮した画像を用いて得られたパターン
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
ノウハウにあたるため、具体的な補正値は本報告書に記載していない。
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
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Shunsuke Nagahama, Development of a Conveyor-Type Object Release Mechanism for a Parallel Gripper with a Mushroom-Shaped Gecko-Inspired Surface, 2022 IEEE/RSJ International Conference on Intelligent Robots and Systems (IROS), , 5787-5793(2022).
DOI: 10.1109/IROS47612.2022.9981232
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件