【公開日：2025.07.07】【最終更新日：2025.07.07】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
22NM0105
利用課題名 / Title
薄膜SOFC用の成膜技術の開発
利用した実施機関 / Support Institute
物質・材料研究機構 / NIMS
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
外部利用/External Use
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）加工・デバイスプロセス/Nanofabrication（副 / Sub）-
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）高度なデバイス機能の発現を可能とするマテリアル/Materials allowing high-level device functions to be performed（副 / Sub）革新的なエネルギー変換を可能とするマテリアル/Materials enabling innovative energy conversion
キーワード / Keywords
スパッタリング/Sputtering,セラミックスデバイス/ Ceramic device,燃料電池/ Fuel cell
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
笹子 佳孝
所属名 / Affiliation
株式会社日立製作所
共同利用者氏名 / Names of Collaborators Excluding Supporters in the Hub and Spoke Institutes
内山 博幸,藤田 隆誠,佐久間 憲之,横山 夏樹
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Supporters in the Hub and Spoke Institutes
利用形態 / Support Type
（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）-
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
燃料電池は脱炭素社会の実現に向けて鍵となるデバイスであり、特にSOFC(固体酸化物形燃料電池)は燃料電池の中で最も発電効率が高く将来が期待されている。SOFCに利用する固体電解質膜に必要とされる緻密で高密度な膜と多孔質の電極膜などを多元スパッタ装置(i-miller)で検討する。
実験 / Experimental
ジルコニウムとイットリウムの合金ターゲットを用いたAr/O2雰囲気での反応性スパッタによるYSZ(イットリア安定化ジルコニア)の成膜を行った。
結果と考察 / Results and Discussion
設備番号NM-607の成膜装置を用いて反応性スパッタによるYSZ(イットリア安定化ジルコニア)層の薄膜成膜が可能なことを確認した。使用したターゲットの組成は Zr84Y16、ガス流量はAr/O2=10/5 sccm、圧力は0.28 Paであった。
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
本実験にあたり、ARIM利用手続きと成膜装置(NM-607)の使用方法に関してNIMS千現微細加工の渡辺英一郎 様にご協力をいただいただきました。感謝申し上げます。
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件