【公開日：2025.06.26】【最終更新日：2025.06.16】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
22TU0165
利用課題名 / Title
金属溶湯脱成分法によるナノ多孔質金属の製造と応用
利用した実施機関 / Support Institute
東北大学 / Tohoku Univ.
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
内部利用（ARIM事業参画者以外）/Internal Use (by non ARIM members)
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）計測・分析/Advanced Characterization（副 / Sub）-
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）高度なデバイス機能の発現を可能とするマテリアル/Materials allowing high-level device functions to be performed（副 / Sub）革新的なエネルギー変換を可能とするマテリアル/Materials enabling innovative energy conversion
キーワード / Keywords
ディアロイング,集束イオンビーム/Focused ion beam,高品質プロセス材料/ High quality process materials,電極材料/ Electrode material
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
ソン ルイルイ
所属名 / Affiliation
東北大学金属材料研究所
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
竹中佳生
利用形態 / Support Type
（主 / Main）技術代行/Technology Substitution（副 / Sub）-
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
TU-507：集束イオンビーム加工装置
TU-508：集束イオンビーム加工装置
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
高性能な新素材の開発を促進するために、脱成分反応時の形成メカニズムを説明する上で、脱合金反応の界面で形成されるFe7Mo6-Ni-Mgのナノスケール観察が重要である。脱成分処理をした新素材(700℃と900℃の温度で作製された複合体Fe7Mo6-Ni-Mg) から東北大学のFIBを用いて断面試料を作製し、TEMにより構造・組織観察を行った。
実験 / Experimental
試料はMg溶融浴中で分解するNi-Fe-Mo合金を用いた。700℃と900℃の温度で作製された複合体Fe7Mo6-Ni-Mgの表面観察を行い、反応界面を含む領域について集束イオンビーム加工 (FIB) 装置によりTEM観察用薄片を作製した。
結果と考察 / Results and Discussion
Fig.1にFIB加工による700℃試料採取の様子を示す。Fig. 1に示すように、表面にダメージが入らないように保護膜を成膜した後 (a)、TEMグリッドへ試料薄片を固定し (b)、さらにGaイオンビームによる削り加工によりTEM観察が可能な厚さまで薄片化を行った (c)。所望の観察領域について、高分解能観察が可能な薄い薄片を作製することができた。Fig.2にFIB加工による900℃試料採取の様子を示す。Fig.1と同様に、表面にダメージが入らないように保護膜を成膜した後 (a)、TEMグリッドへ試料薄片を固定し (b)、さらにGaイオンビームによる削り加工によりTEM観察が可能な厚さまで薄片化を行った (c)。反応界面を含む観察領域について、厚さ100 nm以下の高分解能観察が可能な薄い薄片を作製することができた。
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
Fig. 1 700℃-断面試料のリフトオフの様子（SEM像）
Fig. 2 900℃-断面試料のリフトオフの状況（SEM像）
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件