【公開日：2025.06.26】【最終更新日：2025.06.16】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
22TU0073
利用課題名 / Title
金属材料に対する超撥水の表面処理
利用した実施機関 / Support Institute
東北大学 / Tohoku Univ.
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
外部利用/External Use
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）計測・分析/Advanced Characterization（副 / Sub）-
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）次世代ナノスケールマテリアル/Next-generation nanoscale materials（副 / Sub）高度なデバイス機能の発現を可能とするマテリアル/Materials allowing high-level device functions to be performed
キーワード / Keywords
チタニア系触媒,電子顕微鏡/Electron microscopy,集束イオンビーム/Focused ion beam
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
倉内 宣博
所属名 / Affiliation
株式会社ネオス 新規開発部
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
榎並翼,水谷正義
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
今野豊彦,竹中佳生
利用形態 / Support Type
（主 / Main）技術代行/Technology Substitution（副 / Sub）-
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
TU-504：超高分解能透過電子顕微鏡
TU-507：集束イオンビーム加工装置
TU-508：集束イオンビーム加工装置
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
本研究グループでは、金属の表面性状変化、とくに材料表面を超撥水化する表面処理技術について検討を行っている。その中で本研究ではFE-SEMあるいはTEM、EDXによる観察・分析・解析を通じて各種金属材料のマクロからミクロ的な表面形状と化学組成変化について基礎的な知見を獲得することを目的とする。
実験 / Experimental
本研究では、まず純チタン表面に各種条件で表面処理を行い、被加工面のマクロ‐ミクロ形状の観察および元素分析を行った。具体的には、まずはFE-SEMにて比較的大きな視野にて表面の観察を行った。その後、試料をFIBおよびイオンスライサーにてピックアップし、その断面薄片試料のTEM観察を行うとともにEDXによる元素分析を行った。
結果と考察 / Results and Discussion
TEM観察において、表面にダメージが入らないように保護膜を蒸着した後、Gaイオンビームにより削り加工を行い、TEM用サンプルを作製した。TEMおよびSTEMによる表面の観察・分析結果をFig. 1に示す。同図より、表面処理試料表面には数nmオーダの膜厚の酸化皮膜が存在し、それがミクロ的な形状（凹凸）を一様に覆っていることが明らかとなった。また、このミクロ的な凹凸および酸化皮膜の状態変化と、表面処理試料表面の水に対する接触角変化が相互に対応していることも明らかとなった。
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
Fig. 1 表面処理試料のTEM観察およびSTEM分析結果
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
本研究の一部は、文部科学省「マテリアル先端リサーチインフラ」事業の課題としてナノテク融合技術支援センターの支援を受けて実施された。同センター、今野豊彦氏、竹中佳生氏に深謝する。
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件