【公開日：2025.06.10】【最終更新日：2025.05.16】

課題データ / Project Data

課題番号 / Project Issue Number

24KT2304

利用課題名 / Title

マイクロ流体デバイスに関する研究

利用した実施機関 / Support Institute

京都大学 / Kyoto Univ.

機関外・機関内の利用 / External or Internal Use

外部利用/External Use

技術領域 / Technology Area

【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）加工・デバイスプロセス/Nanofabrication（副 / Sub）-

【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）次世代バイオマテリアル/Next-generation biomaterials（副 / Sub）マルチマテリアル化技術・次世代高分子マテリアル/Multi-material technologies / Next-generation high-molecular materials

キーワード / Keywords

バイオマーカー,光リソグラフィ/ Photolithgraphy,膜加工・エッチング/ Film processing/etching

利用者と利用形態 / User and Support Type

利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)

李 相錫

所属名 / Affiliation

鳥取大学　大学院工学研究科

共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes

ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes

諫早伸明,井上良幸

利用形態 / Support Type

（主 / Main）技術代行/Technology Substitution（副 / Sub）-

利用した主な設備 / Equipment Used in This Project

KT-234：深堀りドライエッチング装置（１）
KT-103：レーザー直接描画装置

報告書データ / Report

概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)

マイクロ予備濃縮器を用いて犬の呼気を捕獲し、成分分析を行う。分析した成分から疾患のバイオマーカーを同定する研究を行う。マイクロ予備濃縮器をARIMを利用し、Si基板上に深堀エッチングにより作製した。作製したマイクロ予備濃縮器にガス吸着剤を塗布し、犬の呼気捕獲と分析実験を行った。

実験 / Experimental

レーザー直接描画装置（KT-103）を用いてCrマスクブランクスに設計したパターン通り描画してマスク作製を行い、深掘りドライエッチング装置（KT-234）他を利用してマイクロ予備濃縮デバイスを作製した。作製したマイクロ予備濃縮器にTENAXという吸着剤を塗布し、犬の呼気を捕獲し、分析する実験を行った。

結果と考察 / Results and Discussion

作製したマイクロ予備濃縮器を用いて犬の呼気分析をした結果、様々なガス成分が検出された。分析結果は、疾患のバイオマーカー同定のため提供された。TENAXの塗布時にばらつきがあり、信頼性が高い結果を得るためにはTENAXの塗布を一定にする必要があることがわかった。

図・表・数式 / Figures, Tables and Equations

その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)

成果発表・成果利用 / Publication and Patents

論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)

口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.

特許 / Patents

特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件