【公開日：2025.06.10】【最終更新日：2025.05.19】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
24GA0135
利用課題名 / Title
シリコンゴム薄膜・紫外線硬化樹脂の接合
利用した実施機関 / Support Institute
香川大学 / Kagawa Univ.
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
外部利用/External Use
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）加工・デバイスプロセス/Nanofabrication（副 / Sub）-
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）高度なデバイス機能の発現を可能とするマテリアル/Materials allowing high-level device functions to be performed（副 / Sub）-
キーワード / Keywords
アクチュエーター/ Actuator,MEMS/NEMSデバイス/ MEMS/NEMS device,ボンディング/ Bonding
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
前田 祐作
所属名 / Affiliation
香川高等専門学校
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
利用形態 / Support Type
（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）-
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
触覚ディスプレイの振動膜接合強度向上に向けて，プラズマクリーナーによる表面改質を試みた。
実験 / Experimental
光硬化レジン基板およびPDMS薄膜のそれぞれについて，プラズマクリーナー(diener Femto:GA-013)による表面改質を行った。
結果と考察 / Results and Discussion
表面改質後の光硬化レジン基板およびPDMS薄膜の加圧接合を行った後，接合強度を調査した結果，接合強度はPDMS薄膜の破断強度以上であることが分かった。今後の製作には表面改質工程を加えることで，触覚ディスプレイの動作安定性の向上が可能であることが分かった。
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
- 田中悠奨，前田祐作，”二点弁別能を上回る空間解像力を有するピッチ変換型触覚ディスプレイの開発” ，第41回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム，2024年11月18日
- 中内響希, 前田祐作, 田中悠奨，”ピッチ変換型触覚ディスプレイによる振動振幅増加に向けた計算モデルの検討”，第41回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム，2024年11月18日
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件