【公開日：2025.06.10】【最終更新日：2025.05.06】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
24OS0030
利用課題名 / Title
ナノ材料の構造と電気伝導特性評価
利用した実施機関 / Support Institute
大阪大学 / Osaka Univ.
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
内部利用（ARIM事業参画者以外）/Internal Use (by non ARIM members)
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）計測・分析/Advanced Characterization（副 / Sub）-
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）マルチマテリアル化技術・次世代高分子マテリアル/Multi-material technologies / Next-generation high-molecular materials（副 / Sub）-
キーワード / Keywords
ナノワイヤ，集束イオンビーム
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
吉田 秀人
所属名 / Affiliation
大阪大学 産業科学研究所
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
市川聡
利用形態 / Support Type
（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）-
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
ナノ材料の原子スケールの構造と電気伝導特性の関係を透過型電子顕微鏡（TEM）で調べることを目的としている。そのために、超高圧電子顕微鏡センターのFIB-SEM（Scios2）を利用し、電気伝導特性評価用の金属配線を有するTEM観察可能なMEMS基板にナノ材料を架橋させた。
実験 / Experimental
FIB-SEMの試料台に金属酸化物ナノワイヤとMEMS基板をセットした。マイクロプローブを金属酸化物ナノワイヤ1本にゆっくり近づけて接触させ、分子間力でくっついたナノワイヤをピックアップした。次に、ピックアップしたナノワイヤをMEMS基板の電極部に置き、ナノワイヤと電極の接触部にカーボンを電子線でデポジションした。
結果と考察 / Results and Discussion
図1に作成した試料のSEM像を示す。金属酸化物ナノワイヤがMEMS基板の電極間に架橋できている。金属酸化物ナノワイヤとMEMS基板の電極が電気的に接続していることを抵抗測定から確認できた。また、金属酸化物ナノワイヤの構造を原子スケールでTEM観察できることも確認した。
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
図1. 電極間に架橋した金属酸化物ナノワイヤのSEM像
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
- 吉田秀人，千代海斗，村上大和，”酸化物ナノワイヤの構造・電気特性同時解析手法の構築とその応用”，日本顕微鏡学会第80回学術講演会，幕張メッセ国際会議場，口頭発表，2024年6月3日-5日
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件