【公開日：2025.06.10】【最終更新日：2025.05.02】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
24MS5003
利用課題名 / Title
金属をコートしたAFMカンチレバー探針の製作と評価
利用した実施機関 / Support Institute
自然科学研究機構 分子科学研究所 / IMS
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
内部利用（ARIM事業参画者）/Internal Use (by ARIM members)
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）物質・材料合成プロセス/Molecule & Material Synthesis（副 / Sub）計測・分析/Advanced Characterization
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）マテリアルの高度循環のための技術/Advanced materials recycling technologies（副 / Sub）-
キーワード / Keywords
走査プローブ顕微鏡,カンチレバー,蒸着,電子顕微鏡/ Electronic microscope,走査プローブ顕微鏡/ Scanning probe microscope
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
中本 圭一
所属名 / Affiliation
分子科学研究所 機器センター
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
今井弓子
利用形態 / Support Type
（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）-
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
原子間力顕微鏡AFMで使用されるカンチレバーに、さまざまな薄膜をコートすることにより、探針増強効果、耐摩耗性、導電性などの付加的機能を与えられる。カンチレバー探針へAg蒸着を行った。蒸着されたAgの状態を評価するため、走査型電子顕微鏡SEMを用いて観察を行った。
実験 / Experimental
真空蒸着装置を用いてカンチレバー（Arrow-NcPt）をカーボンテープでスライドガラス上に固定し、探針側に蒸着を行った。
ベース真空度： 1.28×10-4 Pa
蒸着レート： 0.7 nm/sec
蒸着膜厚： 100nm
走査型電子顕微鏡MS-202を用いて、蒸着膜の観察を行った。SEM観察では、下記条件で40,000×、200,000×で観察を行った。
加速電圧： 5 kV, 31μ
AWD： 5.3 mm
検出器： 二次電子
結果と考察 / Results and Discussion
40,000×、200,000×でそれぞれFig. 1、Fig. 2に示すSEM像が得られた。SEM観察像より、探針先端の曲率半径は、コートしないものに比べて太くなっているが、Ag粒子が均一にカンチレバーに蒸着されており、金属コートカンチレバーとして十分に使用できることが確認できた。
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
Fig.1
Fig.2
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件