【公開日：2025.06.10】【最終更新日：2025.05.19】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
24GA0134
利用課題名 / Title
金属薄膜の光学定数計測
利用した実施機関 / Support Institute
香川大学 / Kagawa Univ.
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
外部利用/External Use
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）計測・分析/Advanced Characterization（副 / Sub）-
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）高度なデバイス機能の発現を可能とするマテリアル/Materials allowing high-level device functions to be performed（副 / Sub）-
キーワード / Keywords
光デバイス/ Optical Device,エリプソメトリ/ Ellipsometry,センサ/ Sensor,MEMS/NEMSデバイス/ MEMS/NEMS device
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
前田 祐作
所属名 / Affiliation
香川高等専門学校
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
森西 優
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
利用形態 / Support Type
（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）-
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
可視光帯での反射スペクトルのみから，金属薄膜の膜厚，光学定数を推測する機械学習モデルの性能検証データとして，アルミ薄膜の膜厚，光学定数を取得するため，エリプソメータによる計測を行った。
実験 / Experimental
ガラス基板上にマグネトロンスパッタ装置(芝浦ﾒｶﾄﾛﾆｸｽ CFS-4EP-LL:登録外装置)で形成されたアルミ薄膜の膜厚，光学定数の計測をエリプソメータ(溝尻光学 DHA-XA/M8:GA-012)を用いて行った。
結果と考察 / Results and Discussion
エリプソメータで得られる結果は周期解のため，膜厚，光学定数を完全に特定するには至らなかった。膜厚の範囲を段差計等で，確定させることで、開発するモデルの性能検証に使用可能なサンプルデータが得られると考えられる。
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
- 森西優，前田祐作 ，”単一反射スペクトルのみでの金属薄膜の膜厚・光学定数推定モデルの開発” ，第41回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム，2024年11月18日
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件