利用報告書 / User's Reports

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【公開日:2025.06.10】【最終更新日:2025.05.19】

課題データ / Project Data

課題番号 / Project Issue Number

24GA0133

利用課題名 / Title

PDMS薄膜の作成

利用した実施機関 / Support Institute

香川大学 / Kagawa Univ.

機関外・機関内の利用 / External or Internal Use

外部利用/External Use

技術領域 / Technology Area

【横断技術領域 / Cross-Technology Area】(主 / Main)計測・分析/Advanced Characterization(副 / Sub)加工・デバイスプロセス/Nanofabrication

【重要技術領域 / Important Technology Area】(主 / Main)高度なデバイス機能の発現を可能とするマテリアル/Materials allowing high-level device functions to be performed(副 / Sub)-

キーワード / Keywords

アクチュエーター/ Actuator,センサ/ Sensor,蒸着・成膜/ Vapor deposition/film formation


利用者と利用形態 / User and Support Type

利用者名(課題申請者)/ User Name (Project Applicant)

前田 祐作

所属名 / Affiliation

香川高等専門学校

共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes

田中 悠奨,中内 響希

ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
利用形態 / Support Type

(主 / Main)機器利用/Equipment Utilization(副 / Sub)-


利用した主な設備 / Equipment Used in This Project

GA-003:スピンコータ-


報告書データ / Report

概要(目的・用途・実施内容)/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)

ピッチ変換型触覚ディスプレイの振動膜としての応用を目指し,スピンコータを用いたPDMS薄膜形成を行った。

実験 / Experimental

スピンコータを用いて,シリコンウェハ上へのPDMS薄膜の形成を行った。回転数は,2000rpm,3000rpm,4000rpm,5000rpmにて成膜を行った。その後,触覚ディスプレイ本体への接合を行った。

結果と考察 / Results and Discussion

形成したPDMS薄膜の接合において,基板からの剥離が成功せず,形成した薄膜が破損した。本体を形成する光硬化型レジンとPDMS薄膜との接合強度向上,および基板からの剥離のための離型剤の変更等を検討する必要がある。

図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
その他・特記事項(参考文献・謝辞等) / Remarks(References and Acknowledgements)


成果発表・成果利用 / Publication and Patents

論文・プロシーディング(DOIのあるもの) / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
  1. 中内響希, 前田祐作, 田中悠奨,”ピッチ変換型触覚ディスプレイによる振動振幅増加に向けた計算モデルの検討”,第41回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム,2024年11月18日
  2. 田中悠奨,前田祐作,”二点弁別能を上回る空間解像力を有するピッチ変換型触覚ディスプレイの開発” ,第41回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム,2024年11月18日
特許 / Patents

特許出願件数 / Number of Patent Applications:0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents:0件

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