【公開日：2025.06.10】【最終更新日：2025.05.23】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
24TT0038
利用課題名 / Title
中赤外プラズモン局在増強場が得られるグラフェンナノ構造体の評価
利用した実施機関 / Support Institute
豊田工業大学 / Toyota Tech.
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
内部利用（ARIM事業参画者）/Internal Use (by ARIM members)
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）計測・分析/Advanced Characterization（副 / Sub）加工・デバイスプロセス/Nanofabrication
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）高度なデバイス機能の発現を可能とするマテリアル/Materials allowing high-level device functions to be performed（副 / Sub）次世代ナノスケールマテリアル/Next-generation nanoscale materials
キーワード / Keywords
顕微ラマン分光、AFM、グラフェン
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
工藤 哲弘
所属名 / Affiliation
豊田工業大学 大学院工学研究科
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
吉村雅満
利用形態 / Support Type
（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）,技術補助/Technical Assistance
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
中赤外光局在電場による光マニピュレーションを実施するために、グラフェンナノ構造体が必要となる。グラフェンナノ構造体のエッジ近傍に中赤外光をナノ領域に局在させることができ、これを用いた光マニピュレーションの研究を行う。ここではまず購入したグラフェン単層膜の評価を行うために、ラマン分光およびAFMに測定を依頼した。
実験 / Experimental
市販のグラフェン単層シリコンウエハおよび、グラフェン二層シリコンウエハの顕微ラマンおよびAFMによる表面状態の評価を行った。また基本的なこれらの機器の操作方法を習得するためのオペレーショントレーニングも行った。
結果と考察 / Results and Discussion
顕微ラマン分光によりシリコン基盤の上面に単層膜が成膜されていることが確かめられた。
またAFM像からグラフェン単層膜に皺があることがわかった。PMMA転写法ではあり得ることである。
単層膜が均一に成膜されている領域も存在するため、市販のグラフェン単層膜でナノ加工の実験を進めてよいことがわかった。
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
グラフェン単層シリコンウエハのAFM像とラマンスペクトル
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件