【公開日：2025.06.10】【最終更新日：2025.05.27】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
24TU0070
利用課題名 / Title
MEMSジャイロスコープの開発/Development of MEMS gyroscope
利用した実施機関 / Support Institute
東北大学 / Tohoku Univ.
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
内部利用（ARIM事業参画者以外）/Internal Use (by non ARIM members)
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）加工・デバイスプロセス/Nanofabrication（副 / Sub）-
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）高度なデバイス機能の発現を可能とするマテリアル/Materials allowing high-level device functions to be performed（副 / Sub）-
キーワード / Keywords
MEMSジャイロスコープ,縮退振動子,アクチュエーター/ Actuator,MEMS/NEMSデバイス/ MEMS/NEMS device,膜加工・エッチング/ Film processing/etching
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
塚本 貴城
所属名 / Affiliation
東北大学大学院工学研究科
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
利用形態 / Support Type
（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）-
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
TU-216：Vapor HFエッチング装置
TU-201：DeepRIE装置#1
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
MEMSジャイロスコープ，特に次世代高性能ジャイロスコープとして期待されている周波数変調・積分ジャイロスコープに利用可能な2軸縮退振動子を作製する．
実験 / Experimental
SOI基板にフォトリソグラフィーを行い，金属を成膜し，パターニングした．その後，DeepRIE（TU-201）によりシリコンを加工し，最後にVaporHFエッチング（TU-216）により，可動部をリリースした
結果と考察 / Results and Discussion
図1に，作製した振動子の例を示す． 2重質量振動子の作製と評価を行った．ジャイロスコープとしての性能の評価や，複数モード間のモード局在現象について実験と評価を行った．今回の評価を元に，ジャイロスコープの性能向上を目指す．
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
図1. MEMS振動子
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
- T. Tsukamoto "MEMS Resonator and Control System for Mode Localization Sensing," in Proc. IEEE-NEMS2024,, pp. 5B2 7292 2nd-5th, May, 2024.
- 小代洸太，田中秀治，塚本貴城，"零熱膨張ガラス振動子のエネルギー損失メカニズム," in Proc. IIP2025 情報・知能・精密機器部門（IIP部門）講演会, 2025/3/3～4.
- 吉武凌，山田駿介，田中秀治，塚本貴城， "パリレン炭化を用いた3Dマイクロカーボン電極の作製," in Proc. 第15回マイクロ・ナノ工学シンポジウム, pp. 26A3-PN-100, 2024/11/25～28.
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件