設置機関：東京科学大学

• IT-040 SAB貼り付け装置
• IT-041 イオンミリング装置
• IT-042 電子ビーム描画装置
• IT-043 Eガン蒸着装置
• IT-044 レーザ描画装置
  
  

設置機関：大阪大学

• OS-130 フルオート電子ビーム蒸着装置用SEM
  
  

設置機関：広島大学

• RO-419 エッチング装置（RIE SiO2用）
• RO-420 エッチング装置（ICP Si用）
• RO-325 6元スパッタ装置
• RO-332 原子層堆積装置
• RO-516 半導体パラメータアナライザ
• RO-517 ミックスドシグナルオシロスコープ