「マテリアル先端リサーチインフラ」では、全国の大学・研究機関が所有する1200件以上の共用設備を用いて、産学官問わず、皆様の研究・開発を支援しております。随時、お問い合わせを受け付けていると共に、設備検索や利用報告書検索より、各種検索項目やフリーワードでの設備・利用報告書の検索ができます。また、得られた材料データを蓄積し、DX革命による新しい材料開発を目指しています。

ARIMデータポータル、新データサービス開始！

令和7年度 試行的利用（随時受付）

募集要領｜試行的利用課題申請書

設備検索に令和7年度新規登録設備を追加しました（9月度）

※各設備のページから、直接お問い合わせいただけます。

豊橋技術科学大学（実施体制整い次第提供予定）

• TH-101　無機ドラフトチャンバー(ダルトン)
• TH-102　無機洗浄バッチ層(クレセン)
• TH-103　有機ドラフトチャンバー(ダルトン)
• TH-151　マスク加工装置(KES-200NP2)
• TH-152　スピン乾燥機
• TH-153　超臨界洗浄・乾燥装置(SCRD4)
• TH-201　Alスパッタ装置(L-420S)
• TH-202　RF/DCメタルスパッタ装置(E-400S)
• TH-203　汎用メタルスパッタ装置(E-401S)
• TH-204　汎用メタルスパッタ装置(Noyes)
• TH-205　EB蒸着装置(SANVAC)
• TH-206　酸化膜スパッタ装置(E-401S)
• TH-207　誘電体膜スパッタ装置(EB-1100)
• TH-208　パリレン成膜装置
• TH-251　LPCVD装置
• TH-252　プラズマCVD装置(PD-220)
• TH-253　プラズマCVD装置(TEOS)
• TH-254　プラズマCVD装置(Cetus)
• TH-301　CMOS用エッチング装置(F系ガス)
• TH-302　CMOS用エッチング装置(Cl系ガス)
• TH-303　汎用エッチング装置(F系ガス)
• TH-304　汎用エッチング装置(Cl系ガス)
• TH-305　ICP-RIE装置
• TH-306　Si深堀エッチング装置(Deep-RIE)
• TH-307　汎用ICP-RIE装置(CE-300I)
• TH-308　GaN用ICP-RIE装置
• TH-309　XeF2ガスエッチング装置
• TH-310　アッシング装置
• TH-371　UV/オゾン処理装置
• TH-401　酸化・熱処理装置
• TH-402　酸化・熱処理装置(汎用)
• TH-403　熱処理装置
• TH-404　熱処理装置(汎用)
• TH-461　イオン注入装置
• TH-462　リン拡散炉
• TH-501　i線露光装置
• TH-511　コンタクト露光装置(2インチ)
• TH-512　コンタクト露光装置(4インチ)
• TH-513　両面アライン露光装置
• TH-514　マスクレス露光装置
• TH-561　レジスト塗布・現像装置
• TH-562　レジスト塗布装置(MS-B100)
• TH-601　ステルスダイシング装置
• TH-602　ブレードダイシング装置
• TH-631　組立・ボンディング
• TH-632　組立・ボンディング
• TH-701　走査型電子顕微鏡(JSM-7100F)
• TH-702　集束イオンビーム加工装置
• TH-721　共焦点レーザー顕微鏡
• TH-722　金属顕微鏡(LV150)
• TH-723　光学デジタル顕微鏡
• TH-724　フラットネステスタ
• TH-801　干渉膜厚計
• TH-802　段差計
• TH-803　エリプソメータ
• TH-841　4探針抵抗測定装置
• TH-842　セミオートプローバ測定装置
• TH-843　温度可変ステージプローバ測定装置
• TH-844　汎用プローバ測定装置

大阪大学

• OS-129　マスクレス露光装置（MLA150）

ARIM半導体基盤プラットフォーム

従来からARIMが強みを有する材料・プロセス研究開発の支援に加えて、半導体集積回路の設計・試作・評価の支援体制を整備・強化し、材料・プロセス・デバイスからシステムまでの多種多様な研究開発を加速させます。

• 提供サービス
• 提供サービス一覧表

ARIM半導体基盤プラットフォームへのお問い合わせ

ARIMデータポータル

ARIMで蓄積されてきた約11万件の構造化データの共用サービスを9月30日から本格開始いたします。共用データの利用を希望する研究者は、所定の利用料を支払うことにより、当該データをダウンロードして利用することが可能となります。

• データセット一覧
• データ駆動型材料研究を加速する「データリファレンスガイド」
• マテリアル先端リサーチインフラデータ利用約款（2025年9月2日改正）
• 本格サービス開始に伴う試験運用終了とアカウントリセットのお知らせ
• 新規会員登録

	パンフレット 「ARIMデータ登録・共用ポリシー」 ARIMの理念 データ登録の原則 データ品質の向上へのご協力願い データの権利 データ共用とデータカタログ データ登録の例外やマテリアル情報の考え方
	パンフレット 「ARIMデータカタログ公開ポリシー」 データカタログの目的 データカタログに必要な記載項目 編集・修正方法 ご承知おいていただきたいこと

ARIMデータポータルへのお問い合わせ

イベントピックアップ
データ構造化ワークショップ2025　Python中級者向け

日時：2025年11月12～14日 会場：奈良県コンベンションセンター （奈良県奈良市三条大路1-691-1） 募集人員：30名 対象：学生～若手研究者、企業における実務担当者の方向けでPython経験者 （※Pythonの経験者とは、pip installが問題なく行え、Pandas、Numpy、Matplotlibを使って50行程度のコードを作成したことがある方を指します。） 参加申込締切：11月7日（金） ※定員に達し次第締め切ります。 開催案内（PDF）

今すぐ申し込む

ニュース・イベント

• オンライン＋現地開催：2025.09.30
  日本原子力研究開発機構・量子科学技術研究開発機構：
  「放射光分光・イメージングによる電子状態・局所構造分析」 
• 現地開催：2025.10.02（空席がある場合は開催日の2週間前まで申込受付）
  物質・材料研究機構：
  ユーザースクール「低真空型走査電子顕微鏡（SEM）」 
• オンライン＋現地開催：2025.10.09（申込締切：10/6）
  東京大学：
  「ULVACドライエッチングセミナー」 
• オンライン：2025.10.20（申込締切：当日まで）
  物質・材料研究機構：
  R7年度第三回 NIMS-ARIM担当領域セミナー「蒸気二流体洗浄技術」 
• オンライン＋現地開催：2025.10.20-24（申込締切：10/13）
  筑波大学：
  「筑波大学オープンファシリティーウィーク2025」
• 現地開催：2025.10.31
  （10月～12月の間に開催します。空席がある場合は開催日の2週間前まで申込受付）
  物質・材料研究機構：
  ユーザースクール「電子ビーム描画技術 [JBX-8100FS]」 
• 現地開催：2025.10.31
  （10月～12月の間に開催します。空席がある場合は開催日の2週間前まで申込受付）
  物質・材料研究機構：
  ユーザースクール「電子ビーム描画技術 [ELS-BODEN100]」 
• 現地開催：2025.10.31
  （10月～12月の間に開催します。空席がある場合は開催日の2週間前まで申込受付）
  物質・材料研究機構：
  ユーザースクール「レーザー描画・マスクレス露光技術 [DWL66+ ＆ MLA150]」 
• 現地開催：2025.10.31
  （10月～12月の間に開催します。空席がある場合は開催日の2週間前まで申込受付）
  物質・材料研究機構：
  ユーザースクール「走査型プローブ顕微鏡 [Jupiter XR]」 
• 現地開催：2025.10.31
  （10月～12月の間に開催します。空席がある場合は開催日の2週間前まで申込受付）
  物質・材料研究機構：
  ユーザースクール「FE-SEM+EDX [SU8000 or SU8230]」 
• 現地開催：2025.11.07
  東京大学：
  「次世代電子顕微鏡法 社会連携講座　第3回電子顕微鏡セミナー　～TEM入門コース～」 
• 現地開催：2025.11.12-14（申込締切：11/7）
  物質・材料研究機構：
  「ARIMアカデミ－ データ構造化ワークショップ 2025 Python中級者向け」 
• 現地開催：2025.11.14（空席がある場合は開催日の2週間前まで申込受付）
  物質・材料研究機構：
  ユーザースクール「リートベルト解析入門_2」 
• 現地開催：2025.11.21（空席がある場合は開催日の2週間前まで申込受付）
  物質・材料研究機構：
  ユーザースクール「ICP-OES」 

イベントカレンダー

令和7年度の設備利用（課題申請）

ARIM実施機関（26法人）にて、随時課題申請を受け付けております。

センターハブ機関

国立研究開発法人 物質・材料研究機構

ハブ機関

国立大学法人 東北大学
国立大学法人 東京大学
国立大学法人 東海国立大学機構 名古屋大学
国立大学法人 京都大学
国立大学法人 九州大学

スポーク機関

国立大学法人 北海道大学
公立大学法人 公立千歳科学技術大学
国立大学法人 山形大学
国立大学法人 筑波大学
国立研究開発法人 産業技術総合研究所
学校法人 早稲田大学
国立大学法人 東京科学大学（旧：東京工業大学）
国立大学法人 電気通信大学
国立大学法人 北陸先端科学技術大学院大学
国立大学法人 信州大学
国立大学法人 名古屋工業大学
学校法人 トヨタ学園豊田工業大学
大学共同利用機関法人 自然科学研究機構 分子科学研究所
国立大学法人 豊橋技術科学大学（実施体制整い次第提供予定）
国立大学法人 大阪大学
国立研究開発法人 日本原子力研究開発機構
国立研究開発法人 量子科学技術研究開発機構
国立大学法人 奈良先端科学技術大学院大学
国立大学法人 広島大学
国立大学法人 香川大学

利用方法_詳細

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