産業技術総合研究所のHPはこちら（※外部サイトにジャンプします。）

提供開始しているサービス

試作

• 半導体素子試作の基本的なプロセス・評価環境
• トランジスタ材料、プロセス、デバイス（Si、GaN、SiC、ダイヤモンド、酸化物など）
• 二次元材料、プロセス、デバイス（グラフェン、hBN、硫化物など）
• プロセス材料の開発支援（ALDプリカーサなど）

評価

• 原子層堆積とXPS、エリプソメータを一体化した成膜・評価環境
• 時間分解レーザー分光による太陽電池の光電特性評価及び劣化挙動解析

今後提供予定のサービス

未定