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提供開始しているサービス

試作

• 各種薄膜形成（高融点材料、酸化物、窒化物、磁性積層膜など）
• プラズマエッチング技術開発（プラズマ分析、エッチング表面分析含む）
• Si系トランジスタ・センサ作製（イオン注入、熱処理、エッチング）
• パワー半導体デバイス作製（GaNエッチング、ゲート酸化膜）
• スピントロニクスデバイス作製（磁性積層膜、デバイス微細加工）
• 二次元半導体・高周波半導体デバイス開発（超伝導材料、二次元材料・デバイス微細加工）
• 光電融合（導波路）
• 太陽電池（次世代太陽電池材料）

評価

• 電子状態解析（XPS）【名古屋大学】
  極低温・高磁場環境下評価（PPMS）
• 不純物評価（XPS，FTIR）
• 磁気特性評価（VSMなど）
• 大気圧プラズマ照射下での不対電子評価（ESR）
• 結晶構造解析（XRD）
• 表面形状・組成，・力学・電磁気物性評価（SEM・AFMによる同一視野観察）
• 欠陥(不良箇所)の可視化（低加速高分解能SEM、EBIC, 電界コントラスト）
• STEM/TEM/EDS/EELSとの連携（半導体の原子構造、電子状態）
• HV-EM,FIB-SEMを用いた欠陥箇所を含む広視野(3D)解析
• 量子センサ材料のスピン状態の光検出・イメージング
• 生体埋め込みデバイスの生体適合性評価

今後提供予定のサービス

評価

• パワー半導体材料の積層欠陥、不純物分布非破壊超解像高速3次元観察（2026年3月頃～）
• 量子センサ材料のスピン状態の超解像光検出・イメージング（2026年3月頃～）
• 超伝導、スピントロニクス材料などの難加工材料エッチング（2026年3月頃～）