日時
2026年7月6日（月）13:00～10日（金）17:00
開催方式
オンライン＋現地開催
場所
大阪大学 吹田キャンパス 産業科学研究所
S308セミナー室 N415クリーンルーム
主催
大阪大学 マテリアル先端リサーチインフラ設備供用拠点（ARIM）
共催
株式会社エリオニクス
定員
オンライン：100名、現地開催：7組
※先着順（１組当たりの人数制限はありません）
参加費
無料
参加申し込み
Webフォーム：
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申込締切：6月19日（金）
詳細
「初心者からプロまで：電子ビーム描画装置の活用法」
技術セミナー『初心者からプロまで：電子ビーム描画装置の活用法』を2026年7月6日(月)～10日(金)に開催いたします。
月曜日はオンライン参加可能な座学講義を実施します。
装置使い始める際につまずきやすいポイントや、設計・材料・現像・Dose・チャージ・描画時間などを考慮した描画の考え方について解説します。
火曜日から金曜日までは実機を用いてユーザーとの相談会を実施します。
お問い合わせ
大阪大学 マテリアル先端リサーチインフラ設備供用拠点（ARIM）事務局
E-mail：info-nanoplat(at)sanken.osaka-u.ac.jp
※(at)を@に書き換えてください。
ホームページ
[URL] https://nanoplatform.osaka-u.ac.jp/2026年度-大阪大学arim技術セミナーのご案内%ef%bc%88電子ビー/
※最新情報は、イベントWebサイトでご確認ください。
