設置機関：東北大学
- TU-070 BEAMER PC
- TU-071 KrFステッパ
- TU-072 マスクレスアライナ#2
- TU-219 NLDエッチング装置
- TU-330 KLA Tencor 段差計
- TU-331 日立FE-SEM
設置機関：物質・材料研究機構（NIMS）
- NM-021 リアルタイムPCR装置
- NM-022 セルアナライザー
- NM-023 セルソーター
- NM-024 多光子励起蛍光顕微鏡
- NM-025 蛍光寿命イメージング顕微鏡
- NM-026 等温滴定型カロリメータ―
- NM-518 マルチモーダル分析電子顕微鏡
設置機関：信州大学
設置機関：量子科学技術研究開発機構
設置機関：香川大学