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設備検索に令和7年度新規登録設備を追加しました。【2月度利用開始の設備】
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設備検索に令和7年度新規登録設備を追加しました。【2月度利用開始の設備】
設置機関:物質・材料研究機構(NIMS)
NM-671 マスクレス露光装置 [DL-1500iS2]
NM-672 HMDSベーク処理装置 [APPS-30]
【更新日】
2026/03/02
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