日時
2026年3月3日（火）9:00-17:00
場所
豊田工業大学 東棟（名古屋市天白区久方2-12-1）
主催
豊田工業大学マテリアル先端リサーチインフラ
定員
3名
参加費
企業 4万円／人、 大学等 2万5千円／人
参加申し込み
Webフォーム https://forms.gle/NkMEFjJjFseSSDHV6
申込締切：2026年2月20日（金）17:50
※事前登録制
概要
パターニングに関する実習・講習会を開催します。マスクレス露光装置とマスク露光による微細パターン転写を題材に、フォトリソグラフィの基礎を習得して頂けます。マスク製作のクロムエッチングではアンダーエッチングが入る様子について、マスク露光のパターン転写では光回折の影響について、学ぶ内容です。
※詳細は、開催案内をご覧ください。
お問い合わせ
豊田工業大学ARIM事務局
E-mail：arim_office(at)toyota-ti.ac.jp
※(at)を@に書き換えてください。
ホームページ
[URL] https://www.toyota-ti.ac.jp/event/stydy/002860.html
