日時
2025年10月9日（木）15:00-16:30
開催方式／場所
オンライン＋現地開催
場所：東京大学 武田先端知ビル1階 102号セミナー室
主催
東京大学 マテリアル先端リサーチインフラ・データハブ拠点
定員
オンライン300名、現地40名
※定員となり次第締め切り
参加費
無料
参加申し込み
Webフォーム https://forms.gle/vbL8e4ovK6shX1Fx5
申込締切：10月6日（月）
講演内容
1. アルバックのエッチング源の原理と特徴（ICP, NLD, RIE）
2. 最近のエッチングのトレンドと加工例紹介
3. 最新のアルバックエッチング装置のご紹介
4. 質疑応答
※詳細は、開催案内をご覧ください。
お問い合わせ
東京大学 ナノテク支援室
Tel：03-5841-1506（内線21506）
