【優秀技術賞】
「高精細微細加工を実現する電子ビーム描画技術」
大里 啓孝(物質・材料研究機構)
「質量分析装置群を用いた幅広い材料研究課題への技術支援」
西川 嘉子(奈良先端科学技術大学院大学)
【技術支援貢献賞】
「質量分析による技術代行支援」
宮里 朗夫(北陸先端科学技術大学院大学)
「直交型FIB-SEM装置による技術支援」
中村 晶子(物質・材料研究機構)
「半導体プロセスデータ収集機能を備えた設備予約管理システムの開発」
林 慶知(京都大学)
高橋 英樹(京都大学)
「電子顕微鏡による技術支援と研究データ基盤整備への取り組み」
宮家 和宏(奈良先端科学技術大学院大学)
nano tech 2026 展示ポスター
2026年1月28日 東京ビッグサイトで開催された第25回国際ナノテクノロジー総合展・技術会議に於いて、マテリアル先端リサーチインフラ 令和7年度「技術スタッフ表彰」の発表と表彰が行われた。
(1)高精細微細加工を実現する電子ビーム描画技術
(2)質量分析装置群を用いた幅広い材料研究課題への技術支援
(3)質量分析による技術代行支援
(4)直交型FIB-SEM装置による技術支援
(5)半導体プロセスデータ収集機能を備えた設備予約管理システムの開発
(6)電子顕微鏡による技術支援と研究データ基盤整備への取り組み
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