X線光電子分光装置
最終更新日：2026年3月26日
| 設備ID | NI-005 |
|---|---|
| 分類 | 状態分析（各種分光法（元素分析・振動モード・電子状態）を含む） > X線光電子分光 （XPS（硬X線を含む）） |
| 設備名称 | X線光電子分光装置 (X-ray Photoelectron Spectrometer) |
| 設置機関 | 名古屋工業大学 |
| 設置場所 | 名古屋工業大学御器所キャンパス |
| メーカー名 | アルバック・ファイ (ULVAC-PHI) |
| 型番 | Quantes |
| キーワード | X線光電子分光, 電子構造, 金属材料, 無機材料、有機材料 X線光電子分光（XPS（硬X線を含む））/ X-ray photoelectron spectroscopy |
| 仕様・特徴 | 線源：Al-Kα, Cr-Kα 低エネルギー電子とイオン同時照射による帯電中和 アルゴンモノマー／クラスター切り替え可能なデュアルイオン銃を搭載 -120℃～250℃（試料ステージ上） |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.go.jp/user_report.php?keyword=NI-005 |
