触針式表面形状測定器（Dektak）
最終更新日：2024年4月5日
| 設備ID | CT-017 |
|---|---|
| 分類 |
膜厚・粒度測定 > 段差計 膜厚・粒度測定 > 膜厚測定 |
| 設備名称 | 触針式表面形状測定器（Dektak） (Stylus profilometer (Dektak)) |
| 設置機関 | 公立千歳科学技術大学 |
| 設置場所 | E203 |
| メーカー名 | ブルカー (Bruker) |
| 型番 | Dektak XT |
| キーワード | 膜厚段差、表面形状の測定、段差計 |
| 仕様・特徴 | ・200 mmφ対応 ・測定再現性 1σ=4 Å以下 |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.go.jp/user_report.php?keyword=CT-017 |
