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超臨界乾燥機

最終更新日:2025年12月1日
設備ID NU-246
分類 表面処理・洗浄 > CO2洗浄
設備名称 超臨界乾燥機 (Supercritical Dryer)
設置機関 名古屋大学
設置場所 IB電子情報館西棟5階
メーカー名 KISCO (KISCO)
型番 SCLEAD3CD2000
キーワード 超臨界乾燥
仕様・特徴 KISCO SCLEAD3CD2000
・設計温度:100 ℃
・設計圧力:20 MPa
設備状況 稼働中
本設備の利用事例 https://nanonet.go.jp/user_report.php?keyword=NU-246
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