プラズマ表面改質装置
最終更新日：2026年5月11日
| 設備ID | UT-805 |
|---|---|
| 分類 | 表面処理・洗浄 > プラズマ処理 |
| 設備名称 | プラズマ表面改質装置 (Plasma Surface Modificaton Equipment) |
| 設置機関 | 東京大学 |
| 設置場所 | 武田先端知クリーンルーム |
| メーカー名 | サムコ (SAMCO) |
| 型番 | AQ-50 |
| キーワード | 親水化、疎水化 |
| 仕様・特徴 | 主に水蒸気（H2O）を用いたプラズマ処理装置です。金属酸化膜の還元、有機汚れの洗浄、樹脂接合、超親水化などの表面処理を行うことができます。 特にポリマーの接合前の表面処理、超臨界流体製膜前処理、親水化処理が可能。 |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.go.jp/user_report.php?keyword=UT-805 |
